GB_T43772-2024电子气体二氧化碳.docx

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1、ICS31.030CCS1.90中华人民共和国国家标准GB/T437722024电子气体二氧化碳Electronicgas-Carbondioxide2024-03-15发布2024-10-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会本文件按照GB/T1.1-2020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。本文件起草单位：河南心连心深冷能源股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、浙江泓芯半导体有限公司、中船（邯郸）派

2、瑞特种气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、浙江海畅气体股份有限公司、福建德尔科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、重庆瑞信气体有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、大连华邦化学有限公司、湖南凯美特气体股份有限公司、三峡大学、湖北和远气体股份有限公司、重庆同辉气体有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、深圳高发气体股份有限公司、上海启元气体发展有限公司、浙江省计量与标准化学会、浙江省标准化研究院、浙江中硝康鹏化学有限公司、杭氧集团股份有限公司、液化空气（中国）投资有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、惠州市华达通气体制造股份有限公

3、司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资（上海）有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、浙江省化工研究院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、大连中汇达科学仪器有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、中国测试技术研究院化学研究所、四川高精检测服务有限公司、中国计量测试学会、北京睿信捷环保科技有限公司、哈尔滨黎明气体有限公司、眉山麦克在线设备股份有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司、西南化工研究设计院有限公司。本文件主要起草

4、人：崔增涛、御、朱明、银延蛟、兰锋、吴慧明、胡迎、郑秋艳、苏子杰、蔡金、林定标、陈施华、孙福楠、廖恒易、陈艳珊、金向华、孙猛、傅铸红、禹金龙、江月军、牛艳东、刘丽娜、侯鹏、钱吉、刘清辉、郭静楠、袁有录、杜大艳、曹小林、方强、黄加斗、王小波、尹爱华、徐汝峰、俞俊、曹益宁、张学媛、王子源、金雪光、刘尚进、韩帅、殷吴、张薇薇、马彬淇、刘峰、石唯、方华、王见见、何波、唐中伟、王云龙、黄辉、赵跃、尚柏羊、史婉君、常侠、边鲁宁、胡树国、张体强、高艳秋、李春华、崔贺民、宫兵、贾任远、趣杰、周鑫、敖科、杨扬仲夫、赵洁、邵成刚、张艺山、王晶、周鹏云、唐霞梅。电子气体二氧化碳1范围本文件规定了二氧化碳的技术要求、

5、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于由高纯二氧化碳经纯化制备的电子用二氧化碳。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB190危险货物包装标志GB/T5099（所有部分）钢质无缝气瓶GB/T5275.7气体分析动态体积法制备校准用混合气体第7部分：热式质量流量控制器GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T8979纯氮、高纯氮和超纯氮G

6、B/T8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法GB/T11446.1电子级水GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB15603危险化学品仓库储存通则GB/T16804气瓶警示标签GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级GB/T28726GB/T28727GB/T33145GB/T34972GB/T43306TSGROOO5气体分析氮离子化气相色谱法气体分析硫化物的测定火焰光度气相色谱法大容积钢质无缝气瓶电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法气体分析采样导则移动式压力容器安全技术监察规

7、程TSG23气瓶安全技术规程3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4技术要求二氧化碳的技术要求应符合表1的规定。离子及金属元素的要求宜符合表2、表3的规定，也可供需双方协商，1技术要求项目指标二氧化碳（CO2）纯度（摩尔分数）/10-2云99.999299.9995氢（%）含量（摩尔分数）/10-61.00.5（氧十编;）（Oz+Ar）含量（摩尔分数）/10-62.01.0氮（电）含量（摩尔分数）/10-65.03.0一氧化碳（CO）含量（摩尔分数）/10-61.00.5甲烷（CH）含量（摩尔分数）1061.00.5非甲烷总嫌（以甲烷计）含量（摩尔分数）/10-4.02.0总硫（以硫计）

8、含量（摩尔分数）/10-60.010.01一氧化氮（NO）含量（摩尔分数）/10-60.250.25二氧化氮（No2）（摩尔分数）/10-60.250.25水分（a0）含量（摩尔分数）1063.06.5.22 其他测定条件其他测定条件按照仪器说明书执行。6.5.23 剂和材料6.5.3.1气体池：池体材质宜为石英或者不锈钢。6.5.3.2窗片：材质宜为BaFz或KBr。6.5.3.3超纯氮：符合GB/T8979的规定。6.5.4 标准样品6. 5.4.1一氧化氮含量约为1IO-6（摩尔分数），水分含量低于0.5IO-6（摩尔分数），平衡气为氮气。7. 5.4.2二氧化氮含量约为IxlO-（摩尔

9、分数）,平衡气为氮气。6.5.5 版蜘6.5.5.1 启动仪器按傅立叶红外光谱仪说明书开启仪器，调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定。45.5.2g测定一氧化氮前，宜用超纯氮吹扫光腔和气路系统，宜吹扫至水分含量低于0.5X10-（摩尔分数）。6.5.5.3按照GB/T5275.7规定的方法将标准样品稀释，稀释后至少应有4种不同组分含量的气体标准样品,一氧化氮或二氧化氮的含量分别约为0.1IO6（摩尔分数）、0.3IO-6（摩尔分数）、0.5X10-（摩尔分数）、1.OXl卜6（摩尔分数）,平衡气为氮气。将稀释后的各标准样品通入仪器。分别记录标准样品中一氧化氮或二氧化氮在特征峰波数处

10、的吸收响应值。每种标准样品至少重复进样两次，直至两次响应值的相对偏差不大于5%,取其平均值，制作以吸光度信号的响应值为纵坐标，以含量为横坐标的工作曲线。6.5.5.4 样品的测定以建立标准曲线同样的测定条件测定样品。重复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于5%,取平均值。6.5.6其他等效方法可采用其他等效的方法测定二氧化碳中的一氧化氮及二氧化氮含量。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。6.6离子含的测定6.6.1 方法提要使试样气化，鼓泡进入盛有水的多孔式气体洗瓶中，吸收样品中的钱根离子及阴离子，用离子色谱仪对吸收液中的钺根离子及阴离子进行测定，采用外标法进行定量。

11、6.6.2 遍霜6.6.2.1 溶液的配制、稀释及转移所处场所的洁净度应不低于GB/T25915.1中规定的5级，其他测定所处场所的洁净度应不低于GB/T25915.1中规定的6级。6.6.2.2 全部器皿在使用前均应在试验用水中浸泡12h以上。6.6.3 试剂和材料6.6.3.1 钱根离子淋洗液：20mmol1.甲基磺酸。6.6.3.2 其他阴离子淋洗液：Na2CO3（1.811mol1.）与NaHCO3（1.7mmol1.）的混合溶液，或者30mmol/1.氢氧化钾。6.6.3.3 钱根离子标准溶液：镀根离子含量为100mg/1.。6.6.3.4 其他阴离子标准溶液：10Omg/1.。6.

12、6.3.5 试验用水：符合GB/T11446.1中EW-I级的要求。6.6.3.6 高纯氮：符合GB/T8979的规定。6.6. 3.7多孔式气体洗瓶：250m1.o644蝇、场6.6.1.1 离子色谱仪采用配备电导检测器的离子色谱仪，仪器对离子的检测限应符合本文件的要求。6.6.1.2 阴离子分离柱长约250mm、内径约4mm的柱，内装粒径为0.009mm的以烷醇季为功能基的乙基乙烯基苯-二乙烯基苯聚合物树脂。或其他等效阴离子分离柱。6.6.1.3 离子分离柱长约250mm、内径约4mm的柱，内装粒径为0.008mm的采用以瞬酸和瘦酸基团为功能基的乙基乙烯基苯-二乙烯苯聚合物树脂。或其他等效

13、阳离子分离柱。6.6.4.4样品预切理装置6.6.4.41颗粒过滤器过滤颗粒粒径：0.01mm。66442电例分度值：不高于01go6.6.4.4.3样品砌理装置示意图样品预处理装置示意图见图1,采样管路上串联4个洗气瓶，第一个为缓冲瓶，第二个和第三个分别为装有200m1.吸收液(6.6.3.5)的吸收瓶，第四个为缓冲瓶。标引序号说明：1 高纯氮气；2 样品气；3 56、7调压阀；4 颗粒物过滤器；8缓冲瓶；9、10气体吸收瓶；11 缓冲瓶：12 防腐流量计；13 尾气处理；14 电子秤；15 吹扫气出口。图1样品预处理装置示意图6. 6.5测定条件7. 6.5.1参考的浦定条件检测器温度：3

14、0;分离柱温度：30C;进样体积：1m1.;样品流速：1m1.mino8. 6.5.2其他测定条件其他测定条件按照相应的仪器说明书执行。9. 6.6测定步Ii9.1.1.1 启动仪器按离子色谱仪说明书开启仪器。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定。9.1.1.2 样品预处理6.6.6.2.1在取样管线与缓冲瓶及吸收瓶连接前，打开图1所示的高纯氮气瓶阀，先用过滤后的高纯氮气以101./min201./min的流量吹扫5min。6. 6.6.2.2打开图1所示的样品气瓶阀门，调节调压阀，使流量控制在0.51./min,二氧化碳样品连续鼓泡通过2个气体洗瓶120min左右，样品通气量约为

15、601.,停止吸收。6.6.6.2.3 记录吸收的样品气质量。6.6.6.2.4 同时做空白试验。6.6.6.3工作曲线的建立量取1.om1.钱根标准溶液置于100m1.容量瓶内，用水稀释、定容，即得Iomg/1.钱根离子工作储备液。用逐步稀释法依次移取工作储备液，配制浓度为0.05gkg0.1g0.5pg/kg、l.Ogg/kg、2.0gkg的钱根离子标准溶液，此溶液现用现配。量取1.Om1.其他阴离子标准溶液置于100m1.容量瓶内，用水稀释、定容，即得1.Omg/1.离子工作储备液。用逐步稀释法依次移取工作储备液，配制浓度为0.05gkg0.1gkg0.5gkg.1.0Hg/kg的阴离子

16、标准溶液，此溶液现用现配。待仪器稳定后在符合规定的测定条件下进样，建立工作曲线。采用最小二乘法制作仪器响应值对浓度值的线性方程，线性相关系数应不小于0.999。6.6.6.4 样品的测定以建立工作曲线同样的测定条件测定样品吸收溶液，从工作曲线可查得样品吸收溶液中的离子含量。重复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于5%,取其算术平均值为测定值。6.6.6.5 结果处理按公式(4)计算二氧化碳中离子的含量。)m2057.2.3 应按表4规定的抽样数量随机抽样检验金属元素含量。当检验结果符合表3的技术要求时，则判该批产品合格。当检验结果不符合表3技术要求时，则应自同批产品中重新加倍随机抽样

17、检验，若检验结果符合表3技术要求时，则判除不合格的那瓶产品外，该批产品合格；若检验结果仍不符合表3技术要求时，则判该批产品不合格。7.3 集装格装及槽车装二瓶化碳的抽样、判定对于集装格装及槽车装二氧化碳产品，应逐一检验并验收。当检验结果不符合表1表3技术要求时，则判该产品不合格。8就联、礴、jexsfts8.18.1.1 二氧化碳出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括： 产品名称、生产厂名称； 生产日期或批号，以及保质期；充装质量(kg); 本文件编号及二氧化碳的纯度。8.1.2 包装容器上应涂刷“电子气体二氧化碳”字样。8.1.3二氧化碳的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符

18、合GB/T7144的规定，包装标签应符合GBl5258、GB/T16804规定的要求。&2包装、运输及贮存8.2.1包装二氧化碳的气瓶应符合GB/T5099(所有部分)或者GB/T33145的规定。8.2.2二氧化碳的充装及贮运应符合GB/T14193、TSGR0005TSG23的规定。充装及贮运的安全管理要求见危险化学品安全管理条例特种设备安全监察条例。8.2.3二氧化碳的最大充装量按公式(6)计算：m=F,V(6)式中：m气瓶内二氧化碳的质量，单位为千克(kg);F,二氧化碳的充装系数，F=0.60kg1.(15.0MPa)、F=0.74kg1.(20.0MPa);V气瓶标明的内容积，单位

19、为升(1.)。8.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使用DISS722、CGA330。8.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。8.2.6用户返回的二氧化碳钢瓶中的残液量不宜低于充装量的5%。8.2.7二氧化碳产品的贮存应符合GBl5603的规定，存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源。8.3安全信息二氧化碳的安全信息见附录B。附录A（资料性）气路流程示意图及典型色谱图A.1测定总煌的气路流程示意图测定二氧化碳中总炫含量时，参考的气路流程示意图见图A.1。*=1-23issownWNl/11/12标引序号说明：1高纯氮气；2样品气进口：3

20、样品过滤器；4定量管；5样品气出口；6流量计；7P通阀；8放空针阀；9玻璃微球柱；10高纯氢气；H高纯空气：12氢火焰离子化检测器：13预分离柱。图A.I测定总煌的气路流程示意图A.2测定总煌的典型色谱图典型的标准样品色谱图见图A.2,典型的样品色谱图见图A.3o图A.2典型的标准样品色谱图min图A.3典型的样品色谱图A.3测定总硫的气路流程示意图测定二氧化碳中总硫含量时，参考的气路流程示意图见图A.4o标引序号说明：1高纯氮气：2 一一样品气进口；3 一样品过滤器；4 定量管；5 样品气出口；6 流量计；7 一一聚四筑十通阀：8 放空针阀；9 玻璃微球柱：10一一高纯氢气：11高纯空气：1

21、2一一火焰光度离子化检测器；13预分离柱。图A.4涌定总破的气路流程示意图附录B（资料性）安全信息8.1 基本信息8.1.1 化学式：CO2;中文名：二氧化碳；英文名：Carbondioxide。8.1.2 相对分子质量：44.0095（按2018年国际相对原子质量计算）8.1.3 代码:CAS登记号124-38-9;UN号1013。8.1.4 物理性质：无色、无味气体，溶于水、烧类等多数有机溶剂；沸点：-78.5C,熔点：-56.6。8.2 危险性说明8.2.1 瓶装加压气体，遇热可能爆炸。8.2.2 可能引起昏昏欲睡或眩晕。8.3 操作注意事项8.3.1 密闭操作，提供良好的自然通风条件。

22、8.3.2 操作人员经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。8.3.3 远离易燃及可燃物。8.3.4 搬运时轻装轻卸，防止气瓶及附件破损。8.3.5 配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。8.3.6 根据现场使用条件，配备适用二氧化碳气体检测仪。8.4 紧急情况应对措施吸入时，迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道畅通。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医。8.5 泄漏处理处大量泄漏时，根据气体扩散的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向搬离至安全区，应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿一般作业工作服，尽可能切断泄漏源。漏出气允许排入大气中，泄

23、漏场所保持通风。8.6 存储注意事项8.6.1 储存于阴凉、干燥、通风良好的气体专用库房。远离火种、热源。8.6.2 存储区备有泄漏应急处理设备。8.7 废弃处说明8.7.1 废弃化学品根据国家和地方有关法规的要求处置。或与制造商联系，确定处置方法。8.7.2 7.2污染包装物将容器返还生产商或按照国家和地方法规处置。8.7.3 废弃注意事项处置前参阅国家和地方有关法规。参考文献1危险化学品安全管理条例（2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布，2011年2月16日国务院第144次常务会议第一次修订，2013年12月7日国务院令第645号第二次修订通过）2特种设备安全监察条例（2003年3月11日中华人民共和国国务院令第373号公布，2009年1月14日国务院第46次常务会议修订通过）