珠海天成先进半导体科技有限公司一期工艺设备购置实施产业化项目环境影响报告表.docx

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1、建设项目环境影响报告表（污染影响类）项目名称：珠海天成先进半导体科技有限公司一期工艺设备购置实施产业化项目建设单位（盖章）:珠海天成先进半导体科技有限公司编制日期：二。二三年九月中华人民共和国生态环境部制一、建设项目基本情况1二、建设项目工程分析19三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准88四、主要环境影响和保护措施114五、环境保护措施监督检查清单165六、结论168附表169附图1项目地理位置示意图172附图2(1)项目所在“三线一单”位置示意图173附图2(2)项目所在“三线一单”位置示意图174附图3项目所在环境空气质量功能区示意图175附图4项目所在区域水功能区176附图5项目

2、所在声环境功能区示意图177附图6(1)项目厂区平面布置图178附图6(2)项目厂区四至情况图179附图7项目大气环境敏感点目标示意图180附图8项目所在区域近岸海域环境功能区划181附图9项目公示截图182附件1投资项目备案证184附件2建设单位营业执照185附件3法人身份证186附件4建设用地规划许可证187附件5建设用地工程许可证188附件6厂房租赁合同及补充协议190附件7项目现状监测报告195附件8(1)大气现状监测报告222附件8(2)金凤排洪渠监测报告248附件8(3)金星门海域监测报告260附件9排水去向说明272附件10关于电子行业使用低VoCS含量清洗剂替代乙醇、丙酮的可行

3、性专家咨询意见273附件11工程师现场勘查说明及视频截图275附件12主要原辅材料的MSDS277一、建设项目基本情况建设项目名称珠海天成先进半导体科技有限公司一期工艺设备购置实施产业化项目项目代码2308-440402-04-01-596669建设单位联系人*联系方式*建设地点珠海市高新区金鼎片区中珠渠北路北、金鼎中路东侧（珠海高新技术产业开发区）地理坐标（东经113度31分34.777秒，北纬22度23分36度42秒）国民经济行业类别3973集成电路制造建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业3980.电子器件制造397显示器件制造；集成电路制造；使用有机溶剂的；有酸洗的以

4、上均不含仅分割、焊接、组装的建设性质0新建（迁建）口改建口扩建口技术改造建设项目申报情形0首次申报项目口不予批准后再次申报项目口超五年重新审核项目口重大变动重新报批项目总投资（万元）74554环保投资（万元）5676环保投资占比（%）7.6施工工期14个月是否开工建设0口是用地（用海）面积（m2）100643.57专项评价设置情况专项评价类别设置原则本项目情况是否设置专项评价大气排放废气含有毒有害污染物1、二嗯英、苯并a花、机化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标2的建设项目项目排放的废气含纳入有毒有害大气污染物名录的污染物：氟化物，且厂界外500米范围内有环境空气保护目标（上栅社

5、区178米、外沙村354）。是地表水新增工业废水直排建设项目（槽皤车外送污水处理厂的除外）；新增废水直排的污水集中处理厂项目污水经市政管网接入处理，不属于新增工业废水直排建设项目。否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量3的建设项目项目丙酮、异丙醇、硫酸、有机废液等有毒有害和易燃易爆危险物质储量超过临界量。是生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和涧游通道的新增河道取水的污染类建设项目本项目不涉及取水口。否直接向海排放污染物的海洋工程建设项目项目位置属于内陆区域。否注：1.废气中有毒有害污染物指纳入有毒有害大气污染物名录的污染物（不包括无排放标准的污

6、染物）O2 .环境空气保护目标指自然保护区、风景名胜区、居住区、文化区和农村地区中人群较集中的区域。3 .临界量及其计算方法可参考建设项目环境风险评价技术导则（HJ169）附录B、附录C。规划情况无规划环境影响评价情况无规划及规划环境影响评价符合性分析无1、与珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改批后公告相符性分析本项目选址于A305c06编制单元内，执行公告规划；项目选址在公告法定图则的位置示意图详见图1-1;项目与公告法定文本相关规划(第十一章第48条环境影响减缓措施)符合性分析详见表1-1。珠海市高新区金鼎组团A305c编制单元控制性详细规划修改批后公告其他符合性分析讨

7、息瓷该方式查询 网 a:nr. hth. Ov. tn区放位雷图事纯单依：臬*人民武舟btaMK: 2OI8*i2OBM准悔号：4(2OIO)97公氽tM：赃后公立1T内 W:IimlL木炮提快近用功位于块海市高 所区.为,市清家汽金学组用控性 uK) OTX i*em, fffl-tfi风约31&22公贵,0项口 M第整涌出产业内翻及及JR的次除自来.杆班行本次控域格& :作.- V 1aHJ.M-*Jk.TEt. L*U*力示微-承委物I. HUJ.AU031322M*2.班封支谀用见见楞妁36.23公11。K规划画作人口能模约23万人。批短文件三三三一三一三一二一三三| :三 II 三一

8、 一三图卜1项目所商制单元位置示意图表LlLT项目与公告法定文本相关规划符合性分析一览表环境影响减缓措施具体内容相符性分析(D合理开发利用资源，提高资源利用效率加强水资源、能源和土地资源管理，提高资源利用效率，建设资源节约型和环境友好型园区。坚持节约用地，严格控制城市建设和工业开发规模盲目扩张的现象；提高工业建设用地标准，建立土地投资强度准入制度。坚持工业节水，加强居民家庭节水和市政节水，加快调整能源结构，积极引进电力和天然气等清洁能源。本项目依法依规立项建设，加强工业节水，办公生活用水执行先进用水标准，工业用水严格按照工艺要求设计执行。(2)严格控制污染物排放总量，实现污染物减量化严格执行排

9、污许可证制度，对于污染物排放量超过分配份额、污染减排项目没有达到预定要求和新建项目没有达到环保要求从而造成区域污染加剧的企业，要进行严格管理，必要时要坚决关停。提高片区本项目建成后严格落实排污许可证制度，污染物达标排放，执行总量控制原则。污水集中处理率，控制废水排放总量，尤其加强对重点企业废水排放量的控制。(3)积极推进清洁生产根据广东省实施差别化环保准入促进区域协调发展的指导意见：“珠三角优化开发区(核心区)建设项目要达到国际清洁生产先进水平。生态发展区新建项目要达到国际清洁生产先进水平；改、扩建项目要达到国内清洁生产先进水平”。鼓励企业废水集中处理和中水回用，废水排放需严格执行行业排放标准

10、或综合排放标准。本项目位于珠海市，属于珠三角优化开发区(核心区)；本项目属于半导体集成电路行业，目前暂无行业清洁生产标准，但项目生产工艺采用先进的工艺设备，从生产角度看，具备较高的清洁生产水平；本项目生产废水集中收集处理，部分中水回用于生产，项目生产废水执行电子工业水污染物排放标准(GB39731-2020)及广东省地方标准电镀水污染物排放标准(DB44/1597-2015)相应排放限值和珠海海源再生水有限公司北区水质净化厂设计进水标准较严者(其中总银0.05mgL,COD350mgL,TOC200mgL)(4)严格保护水体资源规划实施过程及实施后须严格保护中珠渠等地面水体，严格控制中珠渠上游

11、的污水排放，保护水地表水体。本项目废水经自建污水处理站处理后排入市政污水管网；项目设置事故应急池，用于突发环境事件废水收集。(5)加强固体废物的分类、运输与回收，提高固体废物综合利用率对于设置垃圾转运站的，须根据城市垃圾转运站设计规范设置，要求转运站位于主导风向的下风向；转运车间设计为全封闭式，能通过除尘系统、生物滤池吸附净化工艺废气；对产生的垃圾渗滤液、冲洗废水应收集处理，要求达到三级排放标准；对高噪声源设备进行消声、隔声及减震等措施控制噪声污染。企业须全面开展一般工业固废、危险废物和生活垃圾的识别与分类工作。本项目设置固体废物仓库，一般工业固体废物和危险废物分区分类收集转运；高噪声源设备均

12、进行消声、隔声及减震等措施；危险废物暂存区域满足危险废物贮存污染控制标准(GB185972023)定期开展一般工业固体废物、危险废物和生活垃圾的识别分类培训工作。(6)基于产业发展的方向和重点发展的产业类型，建立企业准入制度，明确企业准入标准及淘汰目录入驻或引入的企业产业性质、生产工艺、规模、设备、产品应符合国家、广东省、珠海市的产业政策、相关规划和标准要求。优先许可资源消耗低、环境污染小、与现有产业关联度高的企业进入，逐步淘汰已有的资源消耗大、污染严重的企业。本项目为集成电路制造产业，项目产业性质、生产工艺、规模、设备、产品经环评分析均符合国家、广东省、珠海市的产业政策、相关规划和标准要求。

13、(7)加强环境风险管理，提高环合理规划产业布局、严格执行企业环境准入制度、完善配套建设环境保护设施和环境保护规章制度、控本环评根据项目情况进行环境风险分析，提出环境保护措施并要求编制突发环境事件应急预案，境应急水平制人口规模、加强企业生产环节监管、强化企业和工作人员安全生产意识、建设环境监测体系和环境信息系统，以提高管理水平、降低各类环境风险发生的可能性；另一方面，针对不同的环境风险源制定相应的积极有效的环境风险减缓对策，在风险事故发生后立即启动相应级别应急响应程序，按照应急预案有条不紊地处理各种环境风险，最大程度降低污染给周边生态环境、人体健康、渔业等产业带来的环境风险水平。提出自行监测要求

14、，本项目建成后要落实各项措施，可有效降低环境风险发生的可能性。综上2、（1区管控目所在区境准入清i:所述，本项目符合公告要求。“三线一单”符合性分析）根据广东省人民政府关于印发广东省“三线一单”生态环境分亍案的通知（粤府（2020）71号）（以下简称通知），对项域与生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和编制生态环单（“三线一单”）进行分析，详见表曼L2-1（1）项目与通知的“三线一单”的相符性分析内容相符性分析生态保护红线项目位于珠海市高新区金鼎片区中珠渠北路北、金鼎中路东侧（珠海高新技术产业开发区），用地性质为工业用地，项目用地范围不涉及划定的生态保护红线区域。环境质量底线根据珠海市生态

15、环境局发布的2022珠海市环境状况，2022年珠海环境空气质量六项污染物全部达标；最终纳污水体金凤排洪渠河口断面水质类别为Iv类，根据引用的金凤排洪渠地表水及海水现状监测报告，金凤排洪渠现状水质为达标。建设项目建成后，废水、废气、噪声等按照相关标准达标排放，固体废物有效分类收集、处置，不会对项目所在区域的环境质量造成恶化，不会突破当地的环境质量底线。资源利用上限本项目生产过程中所用的资源主要为水和电能。本项目给水由市政供水接入；电能由区域电网供应，不会突破当地的资源利用上限。环境准入清单本项目属于集成电路制造，不属于市场准入负面清单（2022年版）（发改体改规（2022）397号）中的禁止准入

16、事项，检索产业结构调整指导目录（2019年本）及其2021修订版（中华人民共和国国家发展和改革委员会令第49号）和珠海市产业发展导向目录（2020年本）可知，本项目不属于目录内限制发展类和禁止发展类。表L2-1（2）项目与通知I的管控要求相符性分析全省总体管控要求相符性分析资用求源利要能源贯彻落实“节水优先”方针，实行最严格水资源管理制度，把水资源作为刚性约束，以节项目生活用水参考广东省用水定额第三部分：生活先进值，生产用水使用行业设计用水，满足基约用水扩大发展空间。准用水排水量，积极落实节约用水要求。污染物排放管控要求超过重点污染物排放总量控制指标或未完成环境质量改善目标的区域，新建、改建、

17、扩建项目重点污染物实施减量替Ro项目所在区域为高新区，项目排放挥发性有机物经“水喷淋+除雾+二级活性炭”处理后可达标排放，总量遵从减量替代制度。符合“一核一带一区”区域管控要求相符性分析珠三角核心区区域布局管控要求：推广应用低挥发性有机物原辅材料，严格限制新建生产和使用高挥发性有机物原辅材料的项目，鼓励建设挥发性有机物共性工厂。本项目所用原辅材料暂无可替代的低VOCS产品，项目通过加强末端处理技术，高效收集，并采用“水喷淋+除雾+二级活性炭”处理VOCS废气的方式，可减少VOCS废气排放。环境风险防控要求：提升危险废物监管能力，利用信息化手段，推进全过程跟踪管理；健全危险废物收集体系，推进危险

18、废物利用处置能力结构优化。本项目危险废物按照相关法规规范要求收集、暂存，定期交由有相应资质的危废单位处置。符合（2）珠海市人民政府印发珠海市“三线一单”生2案（以下称方案）（珠府（2021）38号）于香洲区唐家湾镇重点管控单元（环境管控单元（详见附图2）。项目与管控单元要求的相符性分析见表1表1.2-2项目与方案管控要求的相态环境分区管控方o根据方案，项目位编码：ZH44040220013）.2-2HJlOI3的规定执行。3、企业边界及周边VOCS监测按HJ/T55的规定执行。本评价要求企业根据相关技术规范要求开展自行监测。符合7、与广东省2023年大气污染防治工作方案的相符性分析根据工作方案

19、，“开展简易低效VOCS治理设施清理整治。严格限制新改扩建项目使用光催化、光氧化、水喷淋（吸收可溶性VOCS除外）低温等离子等低效VOCs治理设施（恶臭处理除外）”。项目VOCS治理措施采用“水喷淋+除雾+二级活性炭”处理的处理措施，自建污水处理站恶臭废气采用“水喷淋+活性炭吸附”的处理措施，故符合工作方案要求。8、与广东省生态环境厅关于印发广东省“十四五”重金属污染防治工作方案的通知（粤环（2022）11号）相符性分析根据通知，广东省重金属防控重点为：（1）重点重金属。以铅、汞、镉、格、珅、铭和镇为重点，对铅、汞、镉、铭和碑五种重金属污染物排放量实施总量控制。（2）重点行业。重有色金属矿采选

20、业（铜、铅锌、银钻、锡、锦和汞矿采选），重有色金属冶炼业（铜、铅锌、银钻、锡、睇和汞冶炼），铅蓄电池制造业，电镀行业，化学原料及化学制品制造业（电石法（聚）氯乙烯制造、铭盐制造、以工业固体废物为原料的锌无机化合物工业），皮革糅制加工业。（3）重点区域。清远市清城区，深圳市宝安区、龙岗区。本项目为集成电路行业，不属于广东省生态环境厅关于印发广东省“十四五”重金属污染防治工作方案的通知中的重点行业，项目不涉及通知中铅、汞、镉、铭、碑、铭和睇等重金属，符合通知相关重金属管控要求。9、与珠海市土壤、地下水污染防治和农村生态环境保护规划（2021-2035年）相符性分析规划要求本项目相符性进壤染治推土污

21、防高新区主园区：重点发展集成电路设计、智能制造装备和生物医药产业，建设后环数字经济示范区、智慧产业园和“芯火”双创基地，打造华南地区第三代半导体发展示范区、软件和集成电路设计省级战略性新兴产业基地和软件产业国家高技术产业基地。项目位于高新区金鼎片区工业园，主要从事集成电路制造，为重点发展行业。相符强下污防治加地水染永久基本农田以及居民区、学校、医疗和养老机构等单位周边，避免新建涉重金属、多环芳煌类等持久性有机污染物的企业。项目选址于工业用地，项目周边不存在永久基本农田以及学校、医疗和养老机构，项目周边的居民区为上栅社区和外沙村，该区域已通市政给水管网，居民区不涉及取用地下水；项目建成后，严格落

22、实分区管控，做好防渗措施后，正常情况下不会对地下水产生影响。相符10、与珠海市“十四五”重金属污染防治实施方案相符性分析根据实施方案，到2025年，全市重点行业产业结构将进一步优化，重点行业重点重金属污染物排放量将力争比2020年下降8%以上；到2035年，将建立健全重金属污染防控制度和长效机制，重金属污染治理能力、环境风险防控能力和环境监管能力将得到全面提升。实施方案对重点重金属和重点行业也进行了明确：重点重金属包括铅、镉、格、神等，重点行业包括重有色金属冶炼业、电镀行业等。为了实现上述目标，实施方案在强化重金属污染源头管控、完善重金属污染物排放管理、深化重金属污染环境整治、全面推进重点重金

23、属减排、有效防控重金属环境风险等方面进行了部署。具体措施包括优化重点行业企业布局、严格重点行业企业准入管理、推动重点行业污染综合整治等。本项目不属于重有色金属冶炼业、电镀行业等重点行业，不涉及铅、镉、铭、碑等重点重金属排放，故符合实施方案要求。11、与广东省生态环境保护“十四五”规划(粤环(2021)10号)的相符性分析广东省生态环境保护“十四五”规划(粤环(2021)10号)指出：“在石化、化工、包装印刷、工业涂装等重点行业建立完善源头、过程和末端的VOCS全过程控制体系。大力推进低VOCS含量原辅材料源头替代，严格落实国家和地方产品VOCS含量限值质量标准，禁止建设生产和使用高VOCS含量

24、的溶剂型涂料、油墨、胶粘剂等项目”。针对项目产生的有机废气做有效的收集与配套末端处理，采用“水喷淋+除雾+二级活性炭”处理工艺，可最大程度减少VoCS排放。待行业内研发生产出低VOC清洗剂可用来替代本项目现有使用的高VOC原辅料时，建设单位应及时响应政策要求，落实低VOC含量原辅材料的替代。12、与深入打好城市黑臭水体治理攻坚战实施方案（建城2022）29号）的相符性分析深入打好城市黑臭水体治理攻坚战实施方案（建城（2022）29号）指出：“新建冶金、电镀、化工、印染、原料药制造（有工业废水处理资质且出水达到国家标准的原料药制造企业除外）等工业企业排放的含重金属或难以生化降解废水以及有关工业企

25、业排放的高盐废水，不得排入市政污水收集处理设施。对已经进入市政污水收集处理设施的工业企业进行排查、评估。经评估认定污染物不能被城镇污水处理厂有效处理或可能影响城镇污水处理厂出水稳定达标的，要限期退出市政管网，向园区集聚，避免污水资源化利用的环境和安全风险。”项目不属于实施方案所列新建冶金、电镀、化工、印染、原料药制造等工业企业，项目外排废水包含有含盐浓水和重金属离子。高盐废水是指总含盐质量分数Nl%(约210gL)的废水。废水中含盐量过高，会导致生物处理池活性污泥中的微生物无法存活，降低污水处理效果。本项目含盐浓水主要来源于纯水制备系统和中水回用系统，其中，纯水制备系统制备超纯水电阻率为18M

26、Q*cm(25C),含盐量0.lmgL以下，出水率为70%,浓水占比30%。根据中国城市自来水含盐量分布及各种血液透析制水系统产水含盐量可达到的标准(广州市晶源海水淡化与水处理有限公司)，长江以南沿海城市(珠海)的自来水含盐量约为300mgL(平均值)，则纯水制备系统外排的浓水含盐量约为(300-0.IX0.7)0.31000=lgL10gL,因此项目含盐浓水(研磨废水回用外排浓水含盐量低于纯水制备系统外排浓水含盐量)不属于高盐废水，进入城镇污水处理厂后对其正常运行基本无影响。项目所在地属于珠海海源再生水有限公司北区水质净化厂纳污范围，且项目周边市政管网已完善。本项目外排废水中包括锲、银、铜等重金属离子和鼠化物等难以被珠海海源再生水有限公司北区水质净化厂降解的废水污染物。经依托集中污水处理厂的可行性分析章节内容可知，项目外排废水水质、水量均能满足污水处理厂的要求，而对于废水中重金属离子、氟化物等，在废水处理过程中，必须对其浓度严格控制，才能保证废水的生化处理不受影响。以下为废水生物处理中部分毒物的容许浓度与本项目外排废水水质对比。表1.2-7有4物质排入污水处理系统限值,