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PECVD培训资料,一：我们公司现有PECVD两种机型,岛津PECVD,Roth&Rau PECVD,PECVD=Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉 积出所期望的薄膜。,漏气真空问题 磁控管微波电源问题 加热板加热管问题 控制电路问题 安全事项,PECVD 常见故障,漏气真空问题,岛津PECVD,岛津工艺腔,岛津进料出料腔,漏气真空问题,岛津PECVD,漏气真空问题,真空泵问题,岛津PECVD爱发科油泵,岛津PECVD爱发科增压泵,真空泵问题,Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵,岛津PECVD普旭DS160干泵,真空泵问题,Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵冷却水流量计,Roth&Rau PECVD爱德华GV600干泵氮气压力计,漏气真空问题,岛津PECVD角阀,Roth&Rau PECVD磁流体,漏气真空问题,Roth&Rau PECVD角阀,微波法兰,漏气真空问题,岛津PECVD H/C腔侧门及密封圈,岛津PECVD磁流体,漏气真空问题,Roth&Rau PECVD 密封圈,磁控管微波电源,Roth&Rau PECVD磁控头,Roth&Rau PECVD磁控管,磁控管微波电源,Roth&Rau PECVD微波电源,射频电源,岛津使用的射频电源,磁控管微波电源,Roth&Rau PECVD U型槽,加热板加热管问题,Roth&Rau PECVD接触器,接触器,加热板加热管问题,Roth&Rau PECVD加热板损坏后报警,加热板加热管问题,Roth&Rau PECVD加热温控,加热板加热管问题,Roth&Rau PECVD加热板法兰盘,不要敲击,加热板加热管问题,Roth&Rau PECVD加热板,Roth&Rau PECVD进料腔加热管,陶瓷护套耐高温及绝缘,加热板加热管问题,Roth&Rau PECVD进料腔加热管,控制,岛津PECVD电极板放电现象,各盖板电机升降信号控制继电器,各侧门打开关闭信号控制继电器,电极板放电,岛津PECVD电极板放电现象,电极板放电后的电极板,正常电极板镀膜的片子,正常情况下的电极板,正常镀膜的片子,石墨框,正常情况下的电极板,Roth&Rau PECVD5*6的框,特气柜,岛津特气柜里的流量计、气动阀及手动阀,特气柜,Roth&Rau PECVD特气柜里的特气单向阀,安全事项使用和维护本设备时必须严格遵守操作规程和安全规则，因为：本设备的工艺气体为SiH4和NH3，二者均有毒，且SiH4易燃易爆。本设备运行时会产生微波辐射，每次维护后和停机一段时间再开机前都要检测微波是否泄漏。,