JJF 2123-2024 锁相放大器校准规范.docx

WF中华人民共和国国家计量技术规范JJF21252024锁相放大器校准规范Ca1.ibrationSpecificationfor1.ock-inAmp1.ifiers2024-06T4发布2024-12-1犊施国家市场监督管理总局发布JJF21232024锁相放大器校准规范Ca1.ibrationSpecificationfor1.ock-inAmp1.ifiers归口单位：全国无线电计量技术委员会主要起草单位：中国电子科技集团公司第卜研究所参加起草单位I中国测试技术研究院重庆市计量质量检测研究院本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释本规范主要起草人：张靖悉（中国电子科技集团公司第十研究所）胡勇（中国电子科技集团公司第十研究所）潘柳（中国电子科技集团公司第十研究所）参加起草人：何山（中国测试技术研究院）祝贵军（重庆市计量质量检测研究院）于晨阳（中国电子科技集团公司第十研究所）目录引言(II)I范围(I)2引用文件(I)3概述(1)4计量特性(I)4.1 时基输出频率(I)4.2 内部参考源输出频率(1)4.3 内部参考源输出幅度(2)4.4 共模抑制比(2)4.5 幅度测ffi：(2)4.6 相位测盘(2)4.7 直流输出电压(2)4.8 直潦电压测量(2)4.9 输入噪声(2)5校准条件(2)5.1 环境条件(2)5.2 测证标准及其他设符(2)6校准项目和校准方法(3)6.1 外观及工作正常性检查(4)6.2 时基输出频率(4)6.3 内部参考源输出频率(4)6.4 内部参考源输出幅度(4)6.5 共模抑制比(5)6.6 幅度测量(6)6.7 相位测量(8)6.8 直流输出电压(9)6.9 直流电压测量(9)6.10 输入噪声(10)7校准结果表达(10)8史校时间间隔(I1.)附录A原始记录内页格式(12)附录B校准证书内页格式(15)附录C主要项目校准不确定度评定示例(18)引言JJF10712010国家计量校准规范编写规则和JJF1059.12012针则量不确定度评定与表示共同构成支掾本规范编制工作的基础性系列规范。本规范为首次发布“锁相放大器校准规范1范B1.本规范适用于频率范圉在600MHz以下的锁相放大器的校准。1.Q解调放大器也可参考。2弓I用文件本规范无引用文件.3 «£锁相放大器用于检测微弱交流信号，为了避免噪声对测量的影响，采用的核心技术是相敏检测技术，利用与待测信号有相同频率和固定相位关系的参考信号作为基准，港掉与其领率不同的噪声，从而分析检测出有用信号成分。锁相放大胧由信号通道模块、参考通道模块和相敏检测模块组成。参考通道模块为相敏检测器提供作为基准的参考信号，参考信号可采用外部源也可用内部源，一般默认为内部源.锁相放大器一般还具备辅助输入输出通道，用于直流输出和直潦测1.原理图如图I所示。图1锁相放大器构成原理图4 .1时基输出频率最大允许误差：±1.×10-6。4.2 内部参考源输出频率频率范围：1mH-6MHz;最大允许误差：±1.×IOt.4.3 内部参考源输出幅度幅度范围：10IiiV-IOV(有效值)。最大允许误差：+1%(10Hzf500kHz);±2%(5(M)kHz<1.4MHz);±5%(4MHZV£100MHz);÷IO%(1OOMHz<f600MHZ)O4.4 共模抑制比>90dB(1.(X)Hz)o(适用了具备差分输入的锁相放大器)1.5幅度测量频率范围：10Hz600MHz,测量范围：10mV1.V(有效值最大允许误差：±1.%(10Hzi200kHz);±2%(200kHz<t4MHz);±5%(4MHz<f100MHz);±10%(100MHz<f600MHz),4.6 相位测量频率范困：10Hz-I(X)kHz;双微范困：T80°180°最大允许误差：士1，4.7 直流输出电压电压范围：一IOg+10V;最大允许误差：土(0.1%X设置值+0.02V).4.8 直流电压测量测量范南：10V-+10V：最大允许误差：±S.X读数+0.02V)。4.9 输入噪声<10nVHz=,注：以上技术指标不作符合性判别，仅提供参考。5tta<H5.1 环境条件5.1.1 环境温度：(23±5)C°5.1.2 相对湿度:80%t.5.1.3 电源电压及频率：(220±1.1.)V.(5O±1.)Hz,5.1.4 1.1周闱无影响正常校准工作的电磁干扰和机械振动。5.2 测量标准及其他设备5. 2.1交流电压表频率范围：10IIz-4MHz;量程范围：10mV10V;最大允许误差：±(0.3%0.8%),1.1.1 2.2直流电压表量程范围：10mV10V;最大允许误差：土(0.0AX读数+1mV).5.2.3 功率计频率范围：100kHz-6MHz;功率测量范困：30dBm-20dBm:绝对功率测显最大允许误差：±009dB。5.2.4 衰减器频率范围：100kHz6MHz;衰减范围：0dB-40c1.B;不确定度：0.(MdB(k=2).5.2.5 频率计，率与围：ImHZ600MHz;频率测量最大允许误差：±1.×0-8>5.2.6 正弦波发生器(2台)保率范围：10Hz-6(X)MHz;频率最大允许误差：±1.×06；幅度范围：10mV-1V：幅度最大允许误差：土2%。5.2.7多功能校准源交流电压领率范围：10Hz1.MHz;交流电压范用：10mV10V;交流电压最大允许误差：±(0.3%0.8%);直流电压范围：10V-+10V：直流电压最大允许误差：±(0.01%X设置值+0.001V)。5.2.8 标准相位源频率范围：10Hz-100kHz;测量范围：0°'360°最大允许误差：±0.3%5.2.9 功分器频率范闹：DC-6(X)MHz;通道一致性：0.1(1B.5.2.10 50C负载。6校准厩目和校准方法校准项目如表1所示。*1校准瑁目爱序号校在顶日1时基输出频率2内部参考源怆出蝮辜3内部参考源输出帕度4共模抑制比（适用于具务差分输入的锁相放火器）5斯度测量6相位测录7直流输出电压8直流电压测St9输入项声6.1 外观及工作正常性检杳被校锁相放大器的开关、旋钮、按键等应能够正常工作。仪器不应有影响电气性能的机械损伤。将检查结果记录布附录A的A.I中。6.2 时基输出频率6.2.1按图2连接仪器。图2时基输出频率校准连接示意图6. 2.2使用频率计连续测盘频率值3次，取其算术平均值的绝对值作为频率测量值,记录于附录的A.2中。6.3 内部参考源输出频率6.3.1 按图3连接仪器。图3内部参考源输出频率校准连接示意图6.3.2 更位锁相放大器，设置锁相放大器内部参考源输出幅度IV左右，偏置为OV,分别设度锁相放大器内部参考源输出频率为高、中、低3个频点，每个频点用频率计连续测量频率值3次，取其算术平均值的绝对值作为频率测量值，记录于附录A的A3中。6.4 内部参考源输出幅度1.1. 1适用于频率为IOHZ4MHZ的内部参考海输出幅度校准。6.4. 1.1按图I连接仪器,如果内部等考源输出幅度是差分输出，则连接“十”输出端至交流电压费.图IIOI1.z-IMHZ内部参考源输出网度校准连接示虫图6.5. 1.2发位锁和放大器，设置镇相放大器内部参考海输出幅度的偏置为0V“6.6. 1.3设黄锁相放大器内部参考输出的幅度值和频率值，幅度和频率的选点粗盅高、中、低，读取交流电压表测做值，记入附录A的A.4.1中。6.7. 2适用于腕率为4MHz-600NHZ的内部参考源输出幅度校准.64.2.1按图5连接仪器，当被测信号帽度较大时，依据功率计量程范围，接入衰减.图51MHZ-600MHZ内部参考海输出幅度核准连接示面圈6.4.2.2 夏位镇相放大器,设置锁相放大器内部参考源输出幅度的儡程为0V。6.4.2.3 设防.锁相放大器内部参考海输出幡度的幅度值和顺率值，幅度和频率的选点覆盖而、中、低，读取功率计测量值P。.衰减器衰减量为A(不接衰减器测届时A=0),则功率测依伯P=Po+A1再按公式(D换算:为电压有效值y,记入附录A的A.4.2中.y=10P10×0.05(1)式中：y一一输出幅度的电压有效值.V：P输出幅度的功率测累值，dBm,6.5 共模抑制比1. 5.1按图6（八）连接仪器，将内部参考信号的“正”接入“信号输入+”,"地"接入“信号输入一”端，电缆等长。(b>图6共模抑制比校准连接示息图2. 5.2复位锁相放大器，设宜锁相放大器内部参考源输出幅度为1V.频率根据锁相放大器共模抑制比指标进行设置(一般建议100HZ或1kHz).6. 5.3设置锁相放大器的输入耦合为直流耦合，输入为“电压”，参考源为内部参考，输入模式为差分模式，内部参考源输出幅度的直流偏置为0V,显示设置为幅度测量。调整输入员程为1V,使幅度测盘值稳定Tr显示，等待测量值稳定后，读取差模电压测量值Vd,记入附录A的A.5中。7. 5.4按图6(b)连接仪器，连接到“信号输入十”和“信号输入一”端的电缆等长。8. 5.5调整输入量程为适当值，使幅度测量值稳定有显示，等待测量值核定后,读取共模电压测量值V.,按公式(2)计算出共模抑制比CMRR.记入附录A的A.5中。CMRR=20Ig(VaZVc)(2)式中：CMRR共模抑制比，dB:Vc共模电压测量值，V;W差模电压测量值，Ve6.6 幅度测员6.6.1适用T具备波形为正弦波、幅度和频率范围满足要求的内部参考源输出幅度的锁相放大器.6.6.1.1频率小于或等1MHZ幅度测量按图7（八）连接仪器，频率大于4MHZ幅度测量按图7(b)连接仪器。<a)知率小I或等TAMHz(b)%率大r4MHz图7Ms收测M校准连接示点图6.6.1.2%位锁相放大器，设置锁相放大器的输入耦合为直流耦合，参考源为内部参考，内部参考源输出幅度的偏置为0V,显示幅度测量值。6.6.1.3设置锁相放大器的频率和输入量程，设置注波器时间常数为适当值，设置锁相放大器内部参考源输出幅度(建议幅度值等于输入房程，如果不能达到，至少要为输入量程的30%以上)。等待测盘值稳定后，读取锁相放大器幅度测限值Yx,读取交流电压表或功率计的测盘值作为幅度标称值YM按公式(3)计算幅度测量示值误差4,记入网录A的A.6中.=VxVN式中：V 幅度测量示值误差，V;V x幅度测量值，V;V N幅度标称值，V6.6.1.4改变锁相放大器的频率和辘入量程，输入量程和频率选择覆盖高、中、低，重电步骤6.6.1.3。6.6.2适用于内部参考源输出幅度波形不为正弦波或正弦波幅度和频率范用不满足要求的锁相放大器.6.6.2.1频率小于或等于1MHZ幅度测量按图8（八）连接仪潺：频率大于1MHz幅度测量按图8(b)连接仪器。当频率大于4MHz时，使用功分器和功率计：当频率小于或等于4MHz,使用三通代替功分器，使用交流电压表代替功率计。根据锁相放大器外部参考输入电平要求的范国，设置正弦波发牛器1的电平为一个适当值。«|)频率小于成等于1MHz图8根境测破校准连接示意图6.6.2.2星位锁相放大器，设置锁相放大器的输入耦合为直流耦合，参考源为外部参考，显示幅度测盘值。6.6.2.3设置正弦波发生器1和正弦波发生器2或多功能校准源的频率，频率设为相同值。设置锁相放大器的输入量程，设置滤波器时间常数为适当值，根据锁相放大器量程设置多功能校准源或正弦波发生器2的输出电平(建议使幅度值等于输入量程，如果不能达到，至少要为输入量程的30%以上).打开正弦波发生器1和正弦波发生器2或多功能校准源的输出，等待测量值稳定后，读取锁相放大器幅度测量值Vx,读取多功能校准源设置值或功率计或交流电压表的测量值作为幅度标称值VN.按公式(3)计算幅度测或示值误差,记入附录A的A.6中。6.6.2.4改变锁相放大器输入量程，改变正弦波发生器1和正弦波发生器2或多功能校准源频率，选点覆盖高、中、低,重发步骤6.6.2.3。6.6.3适用于具备自触发功能的锁相放大器。1.1. 3.1频率小于或等于4MHZ幅度测量按图9（八）连接仪器,频率大于4MHZ幅度测量按图9(b)连接仪器。更位锁相放大器，设置锁相放大器的输入耦合为直流耦合，输入阻抗为50Q,参考源为外部参考，显示幅度测屈值，输入通道选择为“信号输入”。知率小或冬F4MHz(b)频率大于4MHz图9幅度测点核准连接求意图6.6. 3.2设置正弦波发生器的频率。设置锁相放大器的输入量程，设置信号发生器的输出电平(建议使幅度值等于输入量程，如果不能达到，至少要为输入量程的30%以上)。打开正弦波发生器的输出，等待测量值稳定后，读取锁相放大器幅度测量值Vx,读取交流电压表或功率计的测址值作为幅度标称值VN,按公式(3)计算幅度测量示值误差,记入附录A的A6中。6.7. 3.3改变正弦波发生器的频率和锁相放大器输入限程，输入限程和频率选择覆盖高、中、低，重复步骤6.6.3.2。6.7 相位测量6. 7.1仪表连接如图10所示，标准相位源输出到锁相放大器输入用等长电缆连接。图10相位测量校玳连接示意图7. 7.2发位锁相放大器，设置锁相放大器为直流耦合，参考源为外部参考，设置滤波器时间常数为适当值，显示相位测量值。根据锁相放大器外部参考输入幅度要求，设置标准相位源参考输出幅度为适当值。设置标准相位源可变输出幅度为适当值，并设置锁相放大器适当的输入量程。8. 7.3设置标准相位源频率。设置参考输出和可变输出相位均为0°,打开标准相位源输出。等待锁相放大器测量值稳定后，读取相位测量值。，记入附录A的A.7中。9. 7.1设置可变相位输出相位为，15°,等待锁相放大器测量值稳定后，读取相位测搔值O1.将此时可变相位输出设置的相位值作为相位标称值记入附录A的A.7中，10. 7.5按式计算O1.0。的值作为相位测量值中记入附录A的M7中。=9r-000)式中：相位测量值，0；Oe标准相位源输出0°相位时，锁相放大器相位测量读数值，(°)；O1标准相位源输出不为0°相位时，锁相放大器相位测量读数值，0。11. .6改变可变相位输出相位值，步进建议90°,选点覆盖4个象限。重显步骤12. .4、6.7.5°13. .7改变标准相位源频率，在10Hz-I(X)kHz频率范附内，选择高、中、低点，)6复步砂6.7.36.7.6。6.8 直流输出电压6.8.1 仪表连接如图11所示，使用50。终端负载，连接至信号输入端门.图I1直流输出电压校准连接示电图6. 8.2复位锁相放大器，设置锁相放大器的参考源为内部参考。设置锁相放大器直流输出电压值(如果测量模拟直流输出，设苴偏置值，单位为百分比：如I果测量数字直流输出，设置电压值，单位为V).电压选点覆盖为高、中、低点，读取比流电压表测量值，记录于附录A的A.8中。6.9直流电压测量6.9.1 仪表连接如图12所示，使用50Q终端负载，连接至信号输入端口.瓯亘四一QWttK1.多动徽SZ图12直流电压测Iit校准连接示点图6.9.2 匆位锁相放大器，设置锁相放大器的参考源为内部参考。设置锁相放大器的测量显示通道为被测向流输入通道。6.9.3 设苴多功能校准源输出直流电压为DN,电压输出值分别覆盖高、中、低,等待锁相放大器读数稳定后，读取直流电压测量值Dx.按公式（5）计算直流电压测量示值误差,记入附录A的A.9中。-Dx-Dn式中：直流电压测量示值误差，V;Dx直流电压测量值，V：Dn一直流电压标称值，V。6.10输入噪声6.10.1仪表连接如图13所示，使用50Q终端负载，连接至信号输入端口。5DQI负1T葭钺械大器图13输入噪声校准连接示意图6.10.2 复位锁相放大器，设置锁相放大器的参考源为内部参考，根据被测锁相放大器的指标，设置合适的内部参考频率和锁相放大器灵檄度。如果有“低噪声”模式，选择“低噪声”模式.6.10.3 设置锁相放大器显示噪声测量值。等待锁相放大器读数桎定后，读取显示测成值，记录于附录A的A.I0中。7领相放大得校准后,出具校准证书.校准证书至少应包含以下信息Ia）标题：“校准证书”；b）实验室名称和地址：C）进行校准的地点（如果与实验室的地址不同）：d）证书的唯性标识（如编号），每页及总页数的标识：e）客户的名称和地址；0被校对象的描述和明确标识；g）进行校准的口期，如果与校准结果的TT效性和应用有关时，应说明被校对象的IO接收日期：h）如果与校准结果的有效性和应用有关时,应对被校样品的抽样程序进行说明:i）校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号；j）本次校准所用测后标准的溯源性及有效性说明：k）校准环境的描述：D校准结果及其测址不确定度的说明：m）对校准规范的偏离的说明：n）校准证书及校潴报告签发人的签名、职务或等效标识：o）校准结果仅对被校对象有效的说明：P）未经实脍室书面批准，不得部分笑制证书的声明8震校时间间RI复校时间间隔由用户根据使用情况自行确定，推荐为1年。.IJF212-2()24附录A原始记录内页格式A.1外观及工作正常性检杳.2时基输出频率标称伯实测值A.3内部参考源输出频率内部参考海滁出幅度菽率设置的频率实测值A.4内部参考源输出幅度A.4.i方法一频率幡度设置值«4度测Bttf1.A.4.2科二减率幅度设置值标准费诚录A功率计测SttftPo懈度测乐值A.5共模抑制比频率差极电压测盘值共模电压测量值共模抑制比测贵值A.6"度蒲量频率幅度标称值VN锁相放大器幅度测做值Vx镣相放大器幅度的信示值误差A.7相位测f施率标称值0.测录依0,测收他徒和放大器MIftWIiKft10Ib45,135°2154婀45，135°215-306-A.8直流出电压通道偏置设置值/%电压设置值/V实测值A.9a流电压测量通道口流标称优DN镜相放大器由流渊StfftDX锁相放大直流测!示值误差4A.10输入噪声藤率实测依B.9出流电压测地通道U流标称值DN倭相放大器直流测量值DX锁和放大涔直流测盘示伯误差U(k=2)B.IO输入吧!声频率实测值U(k=2)经分析，不确定度分量来源包括：1）功率计测量不准引入的不确定度分量U1；2）锁相放大器幅度测量分辨力引入的不确定度分量Uz；3）测量垂曳性引入的不确定度分量明。C.6.3标准不确定度的评定C.6.3.1功率计测量不准引入的不确定度分量U1.a）功率传感器的校准因子引入的不确定度分量ua.功率传感器校准因子的最大允许误差为：±2与,则区间半宽度a=2%,在区间内均匀分布，包含因子k=也，由此引入的标准不确定度为：ua=ak=2%31.2%b）功率计的替代功率测量不准引入的不确定度分量ub；功率计的替代功率是由它的功率指示器测附的.查说明书功率指示器的允许误差极限为：±0.5乐则区间半宽度a=O.5%,在区间内均匀分布，包含因子k=3,由此引入的标准不确定度为：ub=a,k=0.5%303%上述2个分量彼此互不相关，灵墩系数均为1,因此，功率测量的相对合成标准不确定度为：U!re1.=u2+ui=1.2%合成标准不确定度为U1.=1.2%×1.V=0.012V.C.6.3.2锁相放大器幅度测搔分辨力引入的不确定度分量、2锁相放大器幅度测量分辨力为1×IO-5V.则取区间半宽度a=.5x1.-sV,概率分布为均匀分布，置信概率为100%时，包含因子k=43,由此引入的标准不确定度u2为：u2=ak=0.5×10-sV3=O.3×1O-5VC.6.3.3测量重且性引入的不确定度分量US采用功率传感器&182A和衰减罂8491B时正弦波发生器输出（10MHzJV正弦波）进行定标测量，然后用锁相放大器独立重匆测量6次，数据见表C.I1.,4EC.I1立黛|量6次我次数Vx/VVN/V/VI1.00000.981330.0186720.91.40-0,0186030.961340.0186640.9e126.0187450.9!17-0.0188360.98125.0187570.蜘290.01870JJF21232()24经计翼，测量重弧性引入的标准不确定度u,=s=8X10-卬。C.6.4标掂不确定度分地去各标准不确定度分设汇总见表C12。表C12幅度测量（功率计亘接测量法）不确定度分量汇总表序号不确定度分S1.来源评定方法分布k值标掂不确定度八'1功率计测球不准B均匀30.012202镣相放大器脑度测此分辨力B均匀J30.3X10-3U3浏依近坡性A8X10-C.6.5合成标准不确定度根据表CI2,各不确定度分录不相关，合成标准不确定度为：UC=O.OI2VC.6.6扩展不确定度取包含因子k=2.则U=2xuc=0.024V（k=2）.C.7机位测地不确定度评定C.7.1测量模型以使用标准相位源650输出相位3（1kHz）对锁相放大器的相位测量进行校准为例，进行不确定度评定.依据校准原理，相位测量模型：=o,-.（C.3）式中：楣位测量:值，（）；O1一一标准相位源输出不为0°相位时，锁相放大器相位测地读数值，O:Q.标准相位源输出0°楣位时，微相放大跟相位测量:读数值，（°）.C.7.2不确定欧来源及合成标准不确定度计算公式C.7.2.1不确定度来源经分析，不确定度分地来源包括：a）初始相位测R引入的不确定度分量u（e°）。b）相位测量引入的不确定度分量u（。J.经分析，上述名分后之间彼此不相关，对各分Gt求偏导，得到的灵敏系数C为：aaCFEJFT由于在测后过程中些其他非理想因素的影响，引入的不确定度分I1.t包括：C）测量重发性引入的不确定度分量U3。C.7.2.2合成标潴不确定度计并公式根据上面分析结果,合成标准不确定改计算公式如S：U1.=(c1U1)1+(c2u2)1+u3C.7.3标准不确定度的评定C.7.3.I初始相位测量引入的不确定度分散U(Qo)C.7.3.1.1锁相放大器相位测量分辨力引入的不确定度分Stua锁和放大器相位测61分辨力为0O1.°,则取区间半宽度a=0.005°,概率分布为均匀分布，置信概率为100%时，包含因子k一<3.由此引入的标准不确定度Ua为：ua-a¾-0.0053=0.003oC.7.3.1.2标准相位源输出不准引入的不确定度分盘Ub根据650技术指标，输出0°(1kHz)机位最大允许误差为±0.03°,则区间半宽度a-0.03o,k-3,由此引入的标准不确定度为：ub=aJk=0.03e%快0.02°U(OO尸而2+1-0.02°C.7.3.2相位测成引入的不确定度分fitu(%)C.7.3.2.1锁相放大器相位测量分辨力引入的不确定度分量Ua锁相放大机位测量分辨力为00,则取区间半宽度a=0.005o,概率分布为均匀分布，置信概率为100%时,包含因子k='3,由此引入的标准不确定度Ua为：ua=ak=0.005叭3M.OO3°C.7.3.2.2标准相位源输出不准引入的不端定度分量Ub根据650技术指标，输出30°(1kHz)相位最大允许误差为±003°,则区间半宽度a=0.03o.k=3,由此引入的标准不确定度为：ub=a,kO,O33O,O20U2(01>-u2+u1=0.02oC.7.3.3测法函复性引入的不确定度分11u3采用标准相位源650输出相位30'(1kHz)对锁相放大器的相位测歌进行测St,独立重宾测量6次，数据见表C.13.表C13独立申复测量6次数据次敢°。I-40.30-10.3030.OOv210.329.963-10.i829.92410.40,29.90"5-10.3929.91610.37,妁,耽710.3629.W经计算，测量重复性引入的标准不确定度U,IS=OO4"。C.7.4标准不确定度分量表各标准不确定度分量:汇总见表C.14,C.11相位测不确定度分汇总融序号不确定度分址来源评定方法分布k色标准不加定度u(>o)初始相位测盘B0.02"2U(O1)相位篇fit0.02-3Ib利收更也性0.OrC.7.5合成标准不确定度根据表C14,各不确定度分以互不相关，合成标准不确定度为：uc«0.05C.7.6扩展不确定度取包含因子k=2,MU=2×uc=0.10'（k=2）.C.8直通输出电压不确定度评定C.8.1测量方法锁相放大器直流愉出电压校准是使用直流电压表进行亘接测后。以使用直流电压表8588A校准锁相放大器CH1.通道的1V直流信号为例，进行不确定度评定。C.8.2不确定度来源a）宜流电压表测微不准引入的不确定度分砧u,；b）直流电压表测量分辨力引入的不确定度分量u2;c）测埴亚复性引入的不确定度分量u3.C.8.3标准不确定度的评定C.8.3.1直流电压表测盘不准引入的不确定度分Stu,根据8588A技术说明竹得知IV近程的最大允许误差为1:（2.0x10-6X读数+0JX10,Xfit程），则取区间半宽度a=2.4x0-6,概率分布为均匀分布，包含因r-k=3,由此引入的标准不确定度U1.为：u1=ik=2.4×IO-61-'31.4×10-6C.8.3.2直流电压表测:分辨力引入的不确定度分量Ih直流电压表测做分辨力引入的不确定度，按B类方法评定.8588A在直流电压1Vt程的测fit分辨力为10-6,则取区间半宽度a=5x1.0-7,t率分布为均匀分布，包含因子k=V3,由此引入的标准不确定度UZ为：uz=k=5×10-732.9×10-7C.8.3.3测量曳红性引入的不确定度分量u,采用8588A校准锁相放大器CH1.通道的1V直流信号,独立重复测量6次,数据见C.I5,<EC15M±SMS6%*a次数实测值/V10.9996020.9996330.9996340.9996350.9996260.9996470.99963经计算，测量重匆性引入的相对标准不确定度U3=sx=14x0S,C.8.4标准不确定度分地表各标准不确定度分属汇总见表C.16,表CJ6IMENr出和皿粉IbWE序号不确定度分量来源评定方法分布k(ft标准不确定度1¼直流电JK表测Ja不准B均匀31.4X10-2112直流电压表测域分防力B均匀32.9X1Q-3U3测量或女性A1.4X10-C.8.5合成标准不确定度根据表C.16.各不确定度分量不相关,合成标准不确定度为：uc=u2+u2+u,1.,4×10-5C.8.6扩展不确定度取包含因子k=2,则1.=2Xu3×1.0-5（k=2）oC.9直流电压测量不确定度评定C.9.1测量方法锁相放大器直流电压测量校准使用多功能校准源进行目接测量。以使用多功能校准源552OA输出1V直流校准锁相放大器的电流输入测量为例，进行不确定度评定。C.9.2不确定度来源经分析，不确定度分量来源包括：a）多功能校准源输出不准引入的不确定度分量5；b）锁相放大器直流电压测或分辨力引入的不确定度分肽U2;c）测埴重发性引入的不确定度分f,u3.C.9.3标准不确定度的评定C.9.3.1多功能校准源输出不准引入的不确定度分以5多功能校准源552OA输出直流IV的最大允许误差为±0.012mV,则区间半宽度a=0.01.2mV,k=也由此引入的标准不确定度为：u1=ak=0.012mV3O.OO7mVC.9.3.2锁相放大器直流电压测量分辨力引入的不确定度分盘U?搔相放大器直流测傲分辨力为ImV,则取区间半宽度a=05mV,概率分布为均匀分布，的信概率为100%时，包含因fk=3,由此引入的标准不确定度U2为：u2-a"O.5mV3O.3mVC.9.3.3测量重复性引入的不确定度分量u3多功能校准源552OA输出1V直流校准锁相放大器的直流测量，独立重或测量6次，数据见表C17.*C,17次数Vx/VVN/VA'11.0001.0020.00221.0030.00331.0040.00141.0030.00351.0030.00361.004O.OOI71.0030.003经计第.测处重复性引入的标准不确定度th=$=0.8mV.C.9.4标准不确定度分盘表各标准不确定度分量汇总见表CI8靶18出院压皿科to诩如TM序号不确定度分量来源评定方法分布k他标准不确定度nVIU1.多功能校准卸输出不准B均匀J30.0072u2钺相放大器出流电质测H分辨力B均匀J30.33测盘重亚性A*0.8C.9.5合成标准不确定度根据表C.18.各不确定度分量不相关,合成标准不确定度为:ue=().9mVC.9.6扩展不确定度取包含因子k=2,则U=2×uc=2mV(k=2).C.10输入噪声不确定度评定C.I0.I测量方法通过在锁相放大器输入端连接50Q负载在适当的频率和适当的量程下利用XnOiSe测量模式直接测量输入噪声。C.10.2不确定度来源经分析，不确定度分量来源包括：1)锁相放大器测量分辨力引入的不确定度分量U1.;2)测量重笑性引入的不确定度分量U1.oC.10.3标准不确定度的评定C.10.3.1锁相放大器测量分辨力引入的不确定度分员UI锁相放大器幅度在100nV量程，测量分辨力为0.01nV,则取区间半宽度a=0.005nV,概率分布为均匀分布，置信概率为100%时，包含因子k=43,由此引入的标准不确定度Ih为：u1=a,k=0.005nV30.003nVC.10,3.2测量建发性引入的不确定度分量U2在10kHz内部参考频率下校准锁相放大器SR830输入噪声,独立重坡测量6次，数据如下：*C19独立麓蒲陵故据次数输入噪声/nV16.7326.8136.6746.7656.7666.8376.76经计算，测量重复性引入的标准不确定度U2=s=006nV。C.IO.4标准不确定度分量表各标准不确定度分量汇总见表C.20所示,表C20输入噪声不确定度分量汇总表序号不确定度分录来源评定方法分布k值标准不确定度nV1钺相放大寄测室分辨力B均匀J30.0032U1.泅假血凝性A0.06C.I0.5合成标准不确定度根据表C.20,各不确定度分量互不相关,合成标准不确定度为:uc=u2+u20.06nVC.10.6扩展不确定度取包含因子k=2,则U=2XucF.12nV(k=2)s