GB∕T 25915.3-2024 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法.docx

ICS13.040.35CCSC70三中华人民共和家标准GB/T25915.32024/IS014644-3:2019代替GB/T25915.32010洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法CleanroomsandassociatedcontrolledenvironmentsPart3:Testmethods(ISO14644-3:2019,IDT)2024-03-15发布2024-10-01实施国家市场监督管理总局电士国家标准化管理委员会发布目次前言I引言II1范围12规范性引用文件13术语和定义13.1 一般术语13.2 与空气悬浮粒子有关的术语23.3 与空气过滤器和过滤系统有关的术语33.4 与气流和其他物理状态有关的术语43.5 与静电测量有关的术语43.6 与测量器具和测量条件有关的术语53.7 与占用状态有关的术语54检测规程54.1 洁净室检测54.2 原理65检测报告8附录A（资料性）支持性检测和清单的选择9附录B（资料性）支持性检测方法13附录C（资料性）检测仪器35参考文献43本文件按照GBT1.12020标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件是GB/T25915洁净室及相关受控环境的第3部分。GB/T25915己经发布了以下部分：一第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；第3部分：检测方法；一第4部分：设计、建造、启动；第5部分：运行；第6部分：词汇；一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）；第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级；第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；一一第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；一一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求； 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁； 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性： 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性； 第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效。本文件代替GB/T25915.32010洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法，与GB/T25915.32010相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ）第3章术语和定义：一更改术语“离散粒子计数器”为“光散射粒子计数器”（见3.6.4,2010年版的3.6.8）;一增加了“分辨力”（见3.1.5）、“灵敏度”（见3.1.6）和“配有流量计的风量罩”（见3.6.3）;一删除了“大粒子”UM描述符"P描述符”“超微粒子”“标准渗漏透过率”“平均风量”“非等动力采样”串级撞击采样器凝聚核计数器计数效率微分迁移率分析仪扩散元件”“伪计数”罩”“硝采样”“等炼样”“粒邰娇僻”阈值f立径”飞行W间l三测量”和“虚拟撞击器”（见2010年版的3.2.4、3.2.5、3.2.11、3.2.12、3.3.10、3.4.2、3.6.2、363、区64、3.65、366、367、369、3610、3611、3612、3.613、3.614、3.615、3616）;b）更改“必测项目”为“一般检测”，并更新了具体内容（见4.1.1,2010年版的4.1.1）;c）更改“可选检测项目”为“支持性检测”，并更新了检测项目（见表2,2010年版的表2）;d）更改“气流检测”为“风速和风量检测”，“气流方向检测与显形检查”为“气流方向检测和可视化”，“隔离检漏”为“围护结构密闭性检测”（见表2,2010年版的表2）;e）更改了压差检测（见4.2.1,2010年版的4.2.3）、风速和风量检测（见4.2.2,2010年版的4.2.2）、气流方向检测和可视化（见4.2.3,2010年版的4.2.5）、自净检测（见4.2.4,2010版的4.2.9）、温度检测（见4.2.5,2010年版的4.2.6）、湿度检测（见4.2.6,2010年版的4.2.6）、己装过滤系统泄漏检测（见4.2.7,2010年版的4.2.4）、围护结构密闭性检测（见4.2.8,2010年版的4.2.10）、静电和离子发生器检测（见4.2.9,2010年版的4.2.7）、粒子沉积检测（见4.2.10,2010年版的4.2.8）;f）删除了空气悬浮粒子计数（见2010年版的4.2.1）;g）增加了隔离检测（见4.2.11）。本文件等同采用ISO14644-3:2019洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法。本文件做了下列最小限度的编辑性改动：-ISO14644-3:2019中表A.1的检测项目“送风速度（单向流）”和“洁净室或洁净区内风速的均匀性（单向流）”与检测程序参照条款B.222和B.2.3不对应，本文件按对应情况做了调整。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会（SAC/TC319）提出并归口。本文件起草单位：吴江市华宇净化设备有限公司、上海科信检测科技有限公司、熙迈（上海）检测技术服务有限公司、中国电子工程设计院有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、北京中瑞高科技产业服务有限公司、深圳天溯计量检测股份有限公司、中国标准化协会、唐颐控股（深圳）有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、上海市室内环境净化行业协会、北京市医疗器械检验研究院（北京市医用生物防护装备检验研究中心）、中国食品药品检定研究院、上海市食品药品包装材料测试所、中电精泰电子工程有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、苏州鸿基洁净科技股份有限公司、上海蔚亚科技发展有限公司、派欧尼尔环境净化工程（北京）有限公司、北京科源顺达建设工程有限公司、持正检测（山东）有限公司、上海市安装工程集团有限公司、湖南瑞邦医疗科技发展有限公司、苏州康启环境科技有限公司、江苏硕世生物科技股份有限公司、深圳市研成工业技术有限公司。本文件主要起草人：陈思源、谭军、郝胤博、王立、高正、谭志坚、杨会英、杨子强、郭凯、王丙信、魏佳鸣、苏建程、宋金辉、孔善平、石霞、徐绍坤、谭莉平、韩辉、曾世清、罗贯翔、彭永昌、王坤、刘中华、贺亦峰、曹晓程、魏兰、郝程、曲明青、万桂波、肖秋贵。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：2010年首次发布为GB/T25915.32010;本次为第一次修订。GB/T25915采用IS014644系列国标标准，各部分设置与国际标准保持一致，拟由16个部分构成。一第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的是区分粒子污染浓度。一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染，以避免可能产生的污染风险。 第3部分：检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测， 第4部分：设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。 第5部分：运行。目的是指导洁净室的运行。 第6部分：词汇。目的是统一规范技术术语。一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）。目的是提出洁净室用隔离装置的基本要求。第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC）等级。目的是区分空气化学污染程度第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。一第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。一第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测要求。一第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以避免可能产生的粒子和化学污染的风险。第14部分：按粒子浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子污染的测试，确定设备的适合性。 第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。目的是通过对相关设备及材料可能在洁净室产生气态化学污染的测试，确定设备及材料的适用性。 第16部分：提升洁净室和空气净化装置的能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。 第17部分：粒子沉积速率应用。目的是通过测量洁净室粒子沉积速率以确定微粒沉积到洁净室易损表面的可接受风险。洁净室及相关受控环境将污染物控制在合适的水平，以便完成对污染敏感的工作。航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。本文件并未包含所有洁净室参数的检测程序。GB/T25915.1中提供了按粒子划分空气洁净度等级检测的程序和装置，GB/T25915.12中提供了监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。涉及特定产品和特定工艺的洁净室和洁净区及相关参数的检测程序和所用仪器，在ISOZTC209编制的其他文件中讨论例如微生物控制和检测程序（GB/T25916系列）、洁净室功能性检测（GB/T25915.4）,以及隔离装置检测（GB/T25915.7）。此外，洁净室的检测活动中也可以考虑采用其他适用标准。其他洁净等级属性水平可使用GB/T25915.8（按化学物浓度划分空气洁净度等级）、GB/T25915.9（按粒子浓度划分表面洁净度等级）和GB/T25915.10（按化学物浓度划分表面洁净度等级）确定。洁净室及相关受控环境第3部分：检测方法1范围本文件规定了支持洁净室和洁净区运行的检测方法，以满足空气洁净等级、其他洁净属性和相关控制条件。性能检测针对的是空态、静态和动态3种任一占用状态下的单向流和非单向流型式的洁净室和洁净区。本文件推荐了测定性能参数用的检测仪器和检测程序。某些检测方法受限于洁净室或洁净区的类型，为此，本文件推荐了若干替代方法。为了满足不同用户的要求，对于某些检测项目，本文件推荐了几种不同的方法和仪器。若供需双方协商同意，也可以使用本文件未介绍的其他替代方法。替代方法未必给出相同的测量结果。本文件不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。注：本文件未提及与其使用相关的安全注意事项(例如涉及危险材料、操作、设备时)。本文件使者有责任在使前制定适当的安全和健康措施，并确定法规限制的适用性。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。IS014644-1洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级(CleanrOomSandassociatedcontrolledenvironmentsPart11Classificationofaircleanlinessbyparticleconcentration)注：GBT25915.12021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级(ISOI4644-1:2015,MOD)3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1一般术语3.1.1洁净室cleanroom空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子受控。注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。注2：对影响洁净等级的其他因素如空气中化学物质、微生物或纳米尺度粒子等的浓度，以及影响表面洁净等级的其他因素如粒子、纳米粒子、化学物质或微生物等的浓度，也可作出规定并进行控制。注3:温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。来源：GB/T25915.12021,3.1.1,有修改3.1.2洁净区cleanzone空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间，其建造和运行使进入、产生和滞留于空间的粒子受控。注1：空气悬浮粒子浓度的级别已确定。注2:也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。注3:洁净区可以是限定于洁净室内的空间，也可用隔离装置实现。隔离装置既可设在洁净室内也可在洁净室外。注4：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。来源：GB/T25915.12021,3.1.23.1.3设施installation洁净室、一个或多个洁净区，以及所有相关结构、空气处理系统、服务设施系统和公用设施系统。3.1.4隔离装置separativedevice采用构造和动力学方法在确定的容积内外创建可靠隔离程度的设备。注：某些行业专用隔离装置有：洁净风罩、隔离箱、手套箱、隔离器、微环境。来源：GB/T25915.72010,3.173.1.5分辨力resolution可被测量的最小变量，即在相应显示中产生的、可辨认的变化。注：噪声（内、外部）或摩擦等因素可决定分辨力，被测的量值也可决定分辨力。来源：GB/T25915.12021,3.4.13.1.6灵敏度sensitivity测量系统指示的变化值和被测量量值的相应变化值的比值。3.2 与空气悬浮粒子有关的术语3.2.1空气悬浮粒子airborneparticle悬浮在空气中，粒径从1nm到100Um的固态或液态的活性或非活性粒子。注：用于洁净度分级时见GB/T25915.12021,3.2.1。3.2.2数量中值粒径COUntmedianparticlediameter按计数排列粒子时，处于中位数的粒径。注：占一半数量的粒子其粒径小于该中值粒径，占另一半数量的粒子其粒径大于该中值粒径。3.2.3质中值粒径massmedianparticlediameter按质量排列粒子时，处于中位数的粒径。注：占全部粒子质量一半的粒子其粒径小于该中值粒径，占另一半质量的粒子其粒径大于该中值粒径。3.2.4粒子浓度particleconcentration单位体积空气中粒子的个数。来源：GB/T25915.12021,3.2.33.2.5粒径particlesize给定粒径测定仪测得的、与被测粒子的响应量相当的球体直径。注：光散射粒子计数器给出的是光学等效直径。来源：GB/T25915.12021,3.2.23.2.6粒径分布particlesizedistribution以累积分布表示的粒子浓度与粒径的函数关系。来源：GB/T25915.12021,3.2.43.2.7检测气溶胶testaerosol气体中具有已知并受控的粒径分布及浓度的固态和（或）液态粒子的悬浮物。3.3 与空气过滤器和过滤系统有关的术语3.3.1气溶胶发尘aerosolchallenge对过滤器和已装过滤系统施用检测气溶胶。3.3.2泄漏限值designatedleak供需双方协定的，可用光散射粒子计数器或气溶胶光度计扫描测出的设施泄漏最大允许透过率。3.3.3稀释装置dilutionsystem按已知稀释比将气溶胶与洁净空气进行混合，以降低气溶胶浓度的装置。3.3.4过滤系统filtersystem由过滤器、安装边框及其他支撑装置或箱体组成的系统。335末端过滤器finalfilter空气进入洁净室或洁净区之前最末端位置上的过滤器。3.3.6已装过滤系统installedfillersystem己安装在顶棚、侧墙、装置、风管上的过滤系统。3.3.7已装过滤系统泄漏检测installedfiltersystemleakagetest为确认过滤器安装良好，无旁路泄漏且过滤器及其安装边框均无缺陷和泄漏而进行的检测。3.3.8泄漏leak（过渡系统）因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下风向浓度超过预期值。3.3.9扫描scanning让气溶胶光度计或光散射粒子计数器的采样口，以一定重叠的往复行程移过规定的检测区来查找过滤器及其他部件泄漏的方法。3.4 与气流和其他物理状态有关的术语3.4.1换气次数airchangerate;airexchangerate单位时间的换气次数，以单位时间送入的空气体积除以该洁净室或洁净区的体积计算。3.4.2测量平面measuringplane用来检测或测量风速等性能参数的横断面。3.4.3三年向流nomndirectionalaircw洁净室或洁净区的送风以诱导方式与室内空气混合的气流分布。来源:GB/T25915.12021,3.2.83.4.4送风量supplyairflowrate单位时间内从末端过滤器或风管送入洁净室或洁净区的空气量。3.4.5总风量totalairvolumeflowrate单位时间内通过洁净室或洁净区的空气量。3.4.6单3KIiudirectionalairflow通过洁净室或洁净区整个断面，风速稳定且流线平行的受控气流。来源：GB/T25915.12021,3.2.73.4.7风速均匀性uniformityofvelocity单向流各点风速（速率和方向）与在规定的平均风速的百分比以内的分布。3.5 与除电漏有关的术语3.5.1放电时间dischargetime孤立的导电监测板上的电压（正或负）降至初始电压所需的时间。3.5.2偏电压OfTSetvoltage未充电的孤立导电板置于电离空气中时积累的电压。3.5.3静电耗散特性static-dissipativeproperty以传导或其他机理将工作表面或产品表面的静电荷降至某规定值或标称零电荷的能力。3.5.4表面电压水平surfacevoltagelevel用适用仪器在工作表面或产品表面所测出的或正或负的静电电压。3.6 与测器具和漏条件有关的术语3.6.1气溶胶发生器aerosolgenerator能够通过加热、液压、气压、超声波或静电方法产生稳定浓度，具有适当粒径范围（例如005Um至2m）颗粒物的装置。3.6.2气溶胶光度计aerosolphotometer利用光散射原理测量空气中气溶胶质量浓度的仪器。3.6.3配有流量计的风量罩airflowcapturehoodwithmeasuringdevice可完全罩住过滤器或风口，收集空气以直接测量空气体积流量的装置。3.6.4光散射粒子计JSS8lightscatteringairborneparticleCounterj1.SAPC依据粒子的光学等效直径，对空气中单个粒子进行计数和测径的仪器。注：ISO21501-4给出了光散射粒子计数器的规格。来源：GB/T25915.12021,3.5.1,有修改3.6.5代测板witnessplate当特定表面无法接近或对测试操作太敏感而无法直接进行测量时，作为被测表面替代物的、具有规定表面积的材料。3.7 与占用状态有关的术语3.7.1空态as-built洁净室或洁净区所有服务设施就位并运行，但无设备、家具、材料和人员的状态。来源：GB/T25915.12021,3.3.13.7.2at-rest洁净室或洁净区建成且设备就位，按议定的方式运行，但无人员在场的状态。来源：GB/T25915.12021,3.3.23.7.3动态OPeratiolIal洁净室或洁净区设施按议定方式运行，且有规定数量的人员按议定方式工作的状态。来源：GB/T25915.12021,3.3.34检测规程4.1 洁净室检测4.1.1 一般检漏根据ISOl4644-1按悬浮粒子浓度对洁净室或洁净区分级。若必要时，选择其他类型的洁净度（见表1）。注：每个标准包含基于特定类型的试验方法规范、试验数据评估指南和试验仪器规范。表1洁净室和洁净区其他类型的洁净度检测一般说明依据按粒子浓度划分表面洁净度等级ISO14644-9按化学物浓度划分空气洁净度等级ISO14644-8按化学物浓度划分表面洁净度等级ISO14644-10监测空气中纳米粒子浓度的技术要求ISO14644-124.1.2 支持性检测表2列出了可用于测量洁净室或洁净区装置性能的其他适用检测项目。这些检测可在三种指定占用状态中的任一状态下进行；建议的应用见附录B中的详细信息.这些检测可能不包括所有检测，也可能不要求对任何指定项目进行所有检测。检测项目和检测方法按照供需双方协定的方式进行选择。所选检测也可以作为常规监测或定期检测的一部分重复开展。检测选择指南和检测清单见附录A。检测方法见附录Bo注：附录B中所述的检测方法仅为大纲形丸可以开发特定的方法来满足特定应用的需要。表2支持性检测支持性检测本文件相关章条编号原理方法仪器压差检测4.2.1B.1C.2风速和风量检测4.2.2B.2C.3气流方向检测和可视化4.2.3B.3C.4自净检测4.2.4B.4C.5温度检测4.2.5B.5C.6湿度检测4.2.6B.6C.7已装过滤系统泄漏检测4.2.7B.7C.8围护结构密闭性检测4.2.8B.8C.9静电和离子发生器检测4.2.9B.9C.10粒子沉积检测*4.2.10B.10C.11隔离检测4.2.11B.11C.12注：这些支持性检测项目并非按重要性或时间顺序排序。检测项目的实际实施顺序是根据文件的具体要求，或由供需双方协定的。在洁净室动态性能检测时，也可以考虑进行粒子沉积检测。4.2 原理4.2.1 2.1压差检测本检测是为了验证洁净室系统维持其设施与周围环境间规定压差的能力。压差检测在下述工作完成之后进行：洁净室的风速或风量、风速均匀性以及其他适用检测项目已满足验收标准。检测程序见B.1。4.2.2 风速和风检溺本检测是为了检测单向流和非单向流洁净室或洁净区的送风气流。在单向流中，送风速度可使用单点读数来测量，进而测量风速和确定风速的均匀性。单点风速的平均值可用于计算送风量和换气率（每小时换气次数）。在非单向流中，通常不需要测量单点风速，因为通常不需要风速均匀。在这种情况下，可直接测量风量，然后计算洁净室或洁净区的换气率（每小时换气次数）。检测程序见B.2。4.2.3 气流方向检测和可视化本检测是为了证明气流方向和风速均匀性符合设计和性能要求。气流方向检测可在静态下进行，以确定洁净室基础的气流模式，也可在模拟实际操作的动态下重复进行。检测程序见B.3o4.24 自WiM本检测是为了确定洁净室和洁净区在短时暴露于空气悬浮粒子污染源之后，在有限时间内恢复到指定洁净等级的能力。单向流系统不推荐检测。检测程序见B.4o使用人工气溶胶时考虑洁净室和洁净区的残留污染风险。4.25 Sa耐本检测是为了验证在客户指定的时间段内，待测区域的空气温度水平在控制范围内。检测程序见B5。4.26 WttiM本检测是为了验证在客户指定的时间段内，待测区域的空气湿度（表示为相对湿度或露点）水平在控制范围内。检测程序见B.6。4.27 已装过滤系统泄漏检测本检测是为了验证洁净室设施不存在旁路泄漏，过滤器不存在缺陷（滤材和边框上的小孔、损伤及过滤器边框泄漏），从而确认末端高效过滤器安装良好。这项检测不检查系统的过滤效率。通过在过滤器上游引入气溶胶，并在过滤器和支撑框架下游进行扫描，或在下游管道中进行采样。检测程序见B.7o4.28 围护结构密闭性检泅本检测是为了确定是否有未经过滤的空气从洁净室和洁净区范围以外通过接头、接缝、门缝和有压力的天花板侵入洁净室和洁净区。检测程序见B.8。4.29 9Ie电和离子发生器检测本检测是为了评估物体的静电电压，材料的静电耗散特性，以及洁净室或洁净区静电控制所用离子发生器（即电离器）的性能。静电检测是为了评估工作表面和产品表面的静电电压，地面、工作台面等的静电耗散特性。离子发生器检测是为了评估离子发生器消除表面静电的性能。检测程序见B.9o4.30 10粒子沉积检测本检测是为了验证在规定的时间内从洁净室空气中沉积到表面上的粒子的数量和大小。检测的程序见BJOo4.31 11隔离检测本检测是为了评估指定气流的隔离有效性。检测时使用粒子污染低一级别的区域，并确定在隔断的另一侧受保护区域的粒子浓度。检测程序见B.U。5报告将每项检测结果记录在检测报告中。检测报告包含下列信息：a）检测机构的名称、地址、检测日期；b）引用的标准及颁布年份；c）清楚标明所测洁净室或洁净区的具体位置（必要时以邻近区域作参照），并标注所有采样点的具体坐标；d）洁净室或洁净区所规定的标准，包括ISC）等级、相应的占用状态、关注粒径；e）所用检测方法的详细说明，包括特殊的检测条件、与规定检测方法的偏离之处；检测仪器的规格型号、仪器最新的校准证书；f）检测结果，包括附录B相关条目中要求的报告数据、达到要求的说明；g）与附录B条目有关的、针对特定检测项目的其他具体要求。附录A（资料性）支持性检测和清单的选择A.1概述特别注意洁净室、洁净区或受控区性能的检测顺序。检测项目和检测顺序由供需双方协定，尽可能早发现不符合情况，以免影响后续的其他检测。A.2检测清单表A.1是检测项目和仪器清单。表A.1支持性检测清单检测项目和顺序的选择”检测项目检测程序参照条款选择检测仪器检测仪器检测仪器参照条款备注压差B.1电子压差计C.2.2斜管压差计C.2.3机械压差计C.2.4风速和风量B.2C.3送风速度（单向流）B.2.2.2热式风速仪C.3.1.2三维超声风速仪或等效仪器C.3.1.3叶轮风速计C.3.1.4风速管矩阵C.3.1.6洁净室和洁净区送风均匀性（单向流）B.2.2.3热式风速仪C.3.1.2三维超声风速仪或等效仪器C.3.1.3叶轮风速计C.3.1.4风速管矩阵C.3.1.6通过过滤器表面速度测量的送风量（单向流）B.2.2.4热式风速仪C.3.1.2三维超声风速仪或等效仪器C.3.1.3叶轮风速计C.3.1.4风速管矩阵C.3.1.6送风管内的送风量（单向流）B.2.2.5孔板流量计C.3.2.3文丘里流量计C.3.2.4皮托管和压差计C.3.1.5热式风速仪C.3.1.2表A.1支持性检濡清单（续）检测项目和顺序的选择*检测项目检测程序参照条款选择检测仪器”检测仪器检测仪器参照条款备注入口处的送风量（非单向流）B.2.3.2配有流量计的风量罩C.3.2.2通过过滤器表面速度测量的送风量（非单向流）B.2.3.3热式风速仪C.3.1.2三维超声风速仪或等效仪器C.3.1.3叶轮风速计C.3.1.4风管送风量（非单向流）B.2.3.4孔板流量计C.3.2.3文丘里流量计C.3.2.4皮托管和压差计C.3.1.5热式风速仪C.3.1.2气流方向和可视化B.3示踪物C.4.1热式风速仪C.4.2三维超声风速仪或等效仪器C.4.3气溶胶发生器C.4.4超声波雾化器C.4.4.2粒子发生器C.4.4.3自净B.4光散射粒子计数器C.5.1气溶胶发生器C.5.2气溶胶物质C.5.3稀释装置C.5.4温度B.5膨胀温度计C.6a)电子温度计C.6b)温度计C.6c)湿度B.6霞点湿度计C.7a)电导率变化湿度计C.7b)已装过滤系统泄漏B.7C.8已装过滤系统的气溶胶光度计扫描检漏B.7.2气溶胶光度计C.8.1气溶胶发生器C.8.3气溶胶物质C.8.4已装过滤系统的光散射粒子计数器扫描检漏B.7.3光散射粒子计数器C.8.2气溶胶发生器C.8.3气溶胶物质C.8.4稀释装置C.8.5表A.1支持性检测清单（续）检测项目和顺序的选择*检测项目检测程序参照条款选择检测仪器'检测仪器检测仪器参照条款备注风管或空气处理单元内的过滤器整体泄漏检测B.7.4气溶胶光度计C.8.I光散射粒子计数器C.8.2气溶胶发生器C.8.3气溶胶物质C.8.4稀释装置（仅限光散射粒子计数器法）C.8.5国护结构密闭性检测B.8C.9光散射粒子计数器法B,8.2.光散射粒子计数器C.9.1气溶胶发生器C.9.2气溶胶物质C.9.3稀释装置C.9.4气溶胶光度计法B.8.2.2气溶胶发生器C.9.2检测气溶胶物质C.9.3气溶胶光度计C.9.5静电和离子发生器B.9C.10静电B.9.2.1静电电压计C.10.1高阻计C.10.2充电监测板C.10.3离子发生器C.9.2.2静电电压计C.10.1高阻计C.10.2充电监测板C.10.3粒子沉积B.10代测板材料C.11.1晶圆表面扫描仪C.11.2粒子沉积气溶胶光度计C.11.3表面粒子计数器C.11.4粒子沉积仪C.11.5光学粒子沉积监测仪C.11.6隔离检测B.11光散射粒子计数器C.12.1气溶胶发生器C.12.2气溶胶物质C.12.3稀新装置C.12.4检测计划人员可在第一列中根据检测顺序对所选检测方法进行编号。”检测计划人员可在第四列中根据所选择的方法选择检测仪器。A.3检测和验证计划至少在以下时机进行检测：a）根据IS014644T进行分级时；b）启动期间验证时；c）确认并纠正故障后验证时；d）改动后验证时；e）定期检测期间。进行风险评估以确定检测周期。根据监测数据、趋势和检测结果确认所选的检测周期，必要时可调整。附录B（资料性）支持性检测方法8.1 压差检测8.1.1 概述本检测是为了验证洁净室和周围环境之间、设施内各洁净室和洁净区之间保持规定压差的能力。本检测适用于所有3种占用状态。亦可定期检测，并将其列入ISO14644-2规定的设施常规监测计划中。8.1.2 压差检测程序建议在开始测量各房间之间以及房间与外围区域之间的压差前，确认以下项目。一一明确各房间之间的压差值和可接受范围。空气机组的送风量及系统风量的平衡在规定的范围内。一洁净间可能影响房间之间压差的装置，如门、窗、通道等均关闭。检测期间永久开口处保持开放。一一空气处理系统已稳定运行。一一排风系统按协定条件运行。测量各洁净室、洁净区和相连相邻房间之间的压差。测量洁净间与相连相邻非洁净环境之间的压差。为避免出现读数错误，注意以下内容：a）测量点的设置；b）洁净室和洁净区内的压差不宜在接近可能影响测点局部压力的位置处测量，该位置包括：送风口、回风口、扰动气流装置、门、其他局部高风速区域；c）当所测得的压差低于协定值时，通过气流可视化的方法确认房间之间的气流方向。8.1.3 压差检测仪器C.2中提供了测量仪器的说明和测量规范。压差测量可使用电子微压计、斜管压差计、机械压差计。所用仪器具有有效的校准证书。8.1.4 检测报告根据供需双方的协议，按第5章要求记录以下信息及数据：a）检测类型、测量值、检测条件；b）所用检测仪器、型号、校准状态；c）所测房间的洁净度；d）测点位置，必要时给出基准点的位置；e）占用状态。8.2 风速和风检测8.2.1 侬本检测是为了测量洁净室和洁净区内的风速、风速均匀性、送风量。单向流洁净室和洁净区需要测量风速分布，非单向流洁净空和洁净区需要测量送风量。测量送风量是为确定单位时间内送到洁净室或洁净区的空气体积并计算换气次数。风量的测量可在末端过滤器的出风面，或在风道中。两者都是测量已知截面的风速，风速与面积的乘积为风量。具体测量方法也可协定。测量风速时考虑以下条件：a)根据气流方向选择合适的探头方向；b)测量时间充分以便重复读数，并记录平均风速或风量。8.2.2 单向流设施检测程序8.2.2.1 概述单向流的风速决定单向流洁净室的性能。可在靠近末端过滤器表面测量风速，也可在室内测量风速。检测时测量面垂直于送风气流并分成等面积网格。B.2.2.2送风风速风速测点距过滤器出风面或送风面约150mm300mm。测点(网格单元)的数量很大程度上取决于用于测量的仪器、房间基础设施的配置、位置或工艺设备以及安装的过滤单元的设计。采用公式(B.1)计算最少测点数量(网格单元):N=10A(B.1)式中：N测点数量(网格单元，N向上取整数)；A测量面积，单位为平方米(皿)。若单向流区域平均风速由公式(B.2)计算：V4=(2V)N(B.2)式中：Vo平均风速，单位为米每秒(ms);ZV,所有测量风速(V)的总和，单位为米每秒(ms);Vo每个网格单元中心处实测风速，单位为米每秒(ms);N测点数量。每个过滤器出风口或风机过滤单元至少有一个测点。若测量数据用于确定B22.4的送风量或B22.3中的风速