浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告.docx

V建设项目环境影响报告表项目名称：浙江博蓝特半导体科技股份有限公司年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目建设单位:浙江博蓝特半导体科技股份有限公司浙江环耀环境建设有限公司ZHEJIANGHUANYAOENVIRONMENTALCONSTURCTIONCOLTD国环评证：乙字第2046号二。一八年十月建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价工作资质的单位编制。1 .项目名称一指项目立项批复时的名称，应不超过30个字（两个英文字段作一个汉字）。2 .建设地点一指项目所在地详细地址，公路、铁路应填写起止地点。3 .行业类别一按国标填写。4 .总投资一指项目投资总额。5 .主要环境保护目标一指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等，应尽可能给出保护目标、性质、规模和距厂界距离等。6 .结论与建议一给出本项目清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论，确定污染防治措施的有效性，说明本项目对环境造成的影响，给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7 ,预审意见一由行业主管部门填写答复意见，无主管部门项目，可不填。8 .审批意见一由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。目录1、建设项目基本情况12、项目所在地自然环境社会环境简况473、环境质量状况564、评价适用标准605、建设项目工程分析666、项目主要污染物产生及预计排放情况887、环境影响分析898、建设项目拟采取的防治措施及预期治理效果1079、项目审批原则符合性分析10810、结论与建议113附图：附图1项目地理位置图附图2项目周围环境概况卫星图附图3项目车间总平面布置图附图4项目所在地环境功能区划图附图5项目所在地水环境功能区划图附图6项目所在地空气环境功能区划图附件:附件1浙江省工业企业“零土地”技术改造项目备案通知书附件2企业法人营业执照、企业名称变更登记表附件3现有项目环评批复及验收文件附件4企业不动产权证附件5企业排水证附件6环评确认书附件7企业承诺附表：建设项目环评审批基础信息表1、建设项目基本情况项目名称年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目建设单位浙江博蓝特半导体科技股份有限公司法人代表联系人通讯地址浙江省金华市婺城区南二环西路2688号联系电话传真/邮政编码321000建设地点浙江省金华市婺城区南二环西路2688号立项审批部门金华市金华经济技术开发区管委会经济发展局批准文号2018-330702-39-03-074178-000建设性质新建口改扩建技改行业类别及代码C3989其他电子元件制造占地面积（平方米）40180绿化面积（平方米）/总投资（万元）29541其中：环保投资（万元）170环保投资占总投资比例0.58%评价经费（万元）预计投产日期2020年9月工程内容及规模项目背景浙江东晶博蓝特光电有限公司成立于2012年10月，于2018年5月更名为浙江博蓝特半导体科技股份有限公司，企业注册资金11180万元，法定代表人徐良，是一家年轻的发展中LED企业。公司2015年被评选为金华市高新技术企业，拥有专利十余项，全球知名SEMIChinaHB-LED委员会核心委员1名，每年研发经费5%以上，硕士以上学历研发人员占比10%o公司地址位于金华市南二环西路2688号，厂区占地面积40180平方米，建筑面积19542.7平方米。公司主要从事不同尺寸的LED图形化蓝宝石衬底片和外延片的研发、设计、生产、销售等，是一家集产、供、销为一体的现代化LED芯片企业。企业年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目环境影响报告书于2014年7月24日通过金华市环保局审批（金环建2014100号），并于2015年7月通过环境保护设施竣工验收（金环开验20159号）；企业于2017年年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告书10月16日通过金华市环保局审批（金环建开201775号），并于2018年6月7日通过了专家组环保'三同时”竣工验收；企业年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目环境影响报告书于2017年10月16日通过金华市环保局审批（金环建开201776号），并于2018年6月7日通过了专家组环保“三同时”竣工验收。为了进一步适应市场需求，企业拟总投资29541万元，在企业原有厂区内的1#厂房一层建设实施。项目总占地面积40180平方米，总建筑面积19542.7平方米。主要采用多线切割蓝宝石工艺、CMP化学机械抛光技术，新增多线切割机、双面研磨机、高温退火炉等先进生产设备，建设年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目。技改项目建成后可形成年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片的生产规模，年产值达29200万元，利税4840万元，具有较好的经济效益和社会效益。本项目已通过了金华市金华经济技术开发区管委会经济发展局备案（项目代码：2018-330702-39-03-074178-000,详见附件1）。本次技改目实施后，企业原有项目：年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目和年产96万片PSS基AlN薄膜蓝宝石衬底技改项目生产线不再实施，本厂区内只保留年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目和本次技改项目，故技改项目完成后全厂规模为592万片高精度即开即用蓝宝石衬底片。依据中华人民共和国环境影响评价法（2016年修正）、建设项目环境保护管理条例（2017年修订）的有关规定，该项目必须进行环境影响评价。对照建设项目环境影响评价分类管理名录（2018），项目应属于“二十八、计算机、通信和其他电子设备制造业，83电子元件及电子专用材料制造：电子专用材料；有分割、焊接、酸洗或有机溶剂清洗工艺的”类项目，应编制环境影响报告表。受业主单位浙江博蓝特半导体科技股份有限公司委托，浙江环耀环境建设有限公司承担了该项目环境影响报告表的编制工作，我单位在组织工作人员经过现场勘察及工程分析的基础上，依据环境影响评价技术导则的要求，编制了该项目环境影响报告表，报请审查。1.2建设项目基本概况1.2.1 主要建设内容及规模（1）建设性质：技改（2）建设规模及内容：本次技改项目总投资29541万元，在企业原有厂区内的1#厂房一层建设实施。项目总占地面积40180平方米，总建筑面积19542.7平方米。主要采用多线切割蓝宝石工艺、CMP化学机械抛光技术，新增多线切割机、双面研磨机、高温退火炉等先进生产设备，建设年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目。项目建成后可形成年产400万片高精度即开即用蓝宝石衬底片的生产规模，年产值达29200万元，利税4840万元，具有较好的经济效益和社会效益。（3）本技改项目完成后企业产品方案见下表：表1.21本技改项目完成后企业产品方案一览表序号产品名称年产量单位规格审批情况1蓝宝石衬底片156万片2英寸金环建开201775号蓝宝石衬底片36万片4英寸2蓝宝石衬底片400万片4英寸本次技改项目新增合计蓝宝石衬底片592万片/（4）产品主要技术指标本次技改项目产品主要技术指标见下表：表1224英寸蓝宝石晶片规格Item项目Unit单位Specification规格1.SurfaceOrientation表面晶向C-plane(0001)1-1towardmdegree0.20±0.051-2towardadegree0.00±0.102.OrientationFlat定位边A-plane(11-20)2-1PrimaryFlatdegree0.(X)±0.202-2PrimaryFlatLengthmm30.0±0.53.Diameter直径mm100.0±0.14.Thickness厚度m650±105TTV总厚度偏差m1()6.BOW碗曲度m-10-07.Flatness(WarP)翘曲度mW1514. Cleanliness 清洁度15. Package 包装16. Others8.LTV( 10.0*10.0 mm)区域厚度 偏差9.Frontside Roughness 正面粗糙 度11. Wafer edge f到角12. LaSermark 标记13. Chips 崩边10.Backside Roughness 背面粗 糙度 0.30.8WRaWI.2Curve: R-Type,N/APeripheral 1.5 mm; WidIh 皂 0.5 mm“up 0.3um <250 pcs and tiup 0.5um W 50, no5um particle, no stains, no scratch,Vacuum packed cassette of25 pcs in cleanroom,EPl-ReadyAccording to customer requirements图1.2-1项目产品图示1.2.3 主要原辅材料本技改项目主要原辅材料消耗如下表：表1.23技改项目原辅材料用量估算表序号原辅材料名称单位年耗量包装形式工序24口寸晶棒亳米800000(22608kg)3切削液升5000(5()(X)kg)2001桶切割4碳化硼公斤6500025kg袋研磨5清洗剂BL1500升15000(15000kg)20L/桶清洗6液体蜡升4000(2800kg)2L/桶贴蜡7钻石液升870(783kg)500mL瓶铜抛8抛光液升820000(100OOOOkg)20L/桶化抛9氢氧化钾升37000(54000kg)5L/塑料桶清洗1()双氧水升2320(2600kg)4L/塑料桶清洗11硫酸升4600(4600kg)4L/塑料桶清洗12磷酸升3800(4600kg)4L/塑料桶清洗13钻石切割线米18000000(1900kg)14研磨砂公斤8000015抛光布垫张600(3()()kg)16无蜡吸附垫张7200(720kg)表124主要液体原辅料组分一览表原辅料名称组分切削液油性剂、极压剂、乙醇胺去离子水碳化硼碳化硼95%清洗剂BLl50()氢氧彳七钾0.51.0%,水99.0-99.5%液体蜡松香2030%,正丙醇5060%钻石液金刚石粉0.20.8%,水性溶剂98.2%99.3%、添加剂0.51.0%抛光液二氧化硅“1%,水N59%氢氧化钾浓度45%双氧水浓度30%硫酸浓度97%磷酸浓度85%原辅材料理化性质分析：表12-5本项目原辅材料理化性质分析序号原料名称性质1硫酸化学式H2SO4,分子量98.078理化性质：硫酸熔点10.371C,沸点33.7C,是一种无色无味油状液体，是一种高沸点难挥发的强酸，易溶于水，能以任意比与水混溶。通常使用的是它的各种不同浓度的水溶液，用塔式法和接触法制取。前者所得为粗制稀硫酸，质量分数一般在75%左右；后者可得质量分数98.3%的纯浓硫酸，沸点338,相对密度1.84c用途：硫酸是基本化学工业中重要产品之一，不仅作为许多化工产品的原料，而且还广泛地应用于其他的国民经济部门。毒性数据：属中等毒性；LD5o214Omgkg（大鼠经口）；LCo51OmgZm3,2小时（大鼠吸入）；320mgm3,2小时（小鼠吸入）。2磷酸分子式H3PO4；分子量97.9724理化性质：熔点42,沸点158C（分解，磷酸受热逐渐脱水，因此没有自身的沸点），市售磷酸是含85%H3PCU的粘稠状浓溶液。从浓溶液中结晶，则形成半水合物2H3PCUH2O（熔点302.3K）,磷酸是三元中强酸，分三步电离，不易挥发，不易分解，几乎没有氧化性。具有酸的通性。用途：磷酸是生产重要的磷肥（过磷酸钙、磷酸二氢钾等）的原料，也是生产饲料营养剂（磷酸二氢钙）的原料。磷酸是一种重要的化工原料，主要作用如下：处理金属表面，在金属表面生成难溶的磷酸盐薄膜，以保护金属免受腐蚀；和硝酸混合作为化学抛光剂，用以提高金属表面的光洁度；生产洗涤用品、杀虫剂的原料磷酸酯；生产含磷阻燃剂的原料。磷酸是食品添加剂之一，在食品中作为酸味剂、酵母营养剂，可口可乐中就含有磷酸；磷酸盐也是重要的食品添加剂，可作为营养增强剂。磷酸可用于制取含磷药物，例如甘油磷酸钠等。毒性数据：磷酸用在食品添加剂，素来有骨质疏松症的疑虑。研究指出，饮用碳酸饮料者没有比其他人摄取更多的磷，但身体的钙磷比却显著的降低。另一项临床研究指出，磷的摄取会降低骨密度。但此实验以磷的总摄取量为主，并未明确证明使骨密度降低的主因是磷酸。对人无中毒报告；浓溶液对皮肤有腐蚀作用；LD5o153Omgkg（大鼠，经口），2740mgkg（兔经皮）。3双氧水化学式H2O2,分子量34.01理化性质：水溶液为无色透明液体，有微弱的特殊气味。纯过氧化氢是淡蓝色的油状液体。熔点-0.89°C（无水），沸点158（无水），折射率1.3350（25C）,相对密度（水=1）1.46（无水），饱和蒸气压（kPa）0.13（15.3C）o能与水、乙醇、乙醛以任何比例混合，不溶于苯、石油酸。具助燃、强刺激性，与重金属等混合易爆炸。用途：分医用、工业用和民用三种。日常消毒的是医用双氧水，可杀灭肠道致病菌、化脓性球菌，致病酵母菌，一般用于物体表面消毒。化学工业用作生产过硼酸钠、过碳酸钠、过氧乙酸、亚氯酸钠、过氧化硫腺等的原料，酒石酸、维生素等的氧化剂。医药工业用作杀菌剂、消毒剂，以及生产福美双杀虫剂和40I抗菌剂的氧化剂。印染工业用作棉织物的漂白剂，还原染料染色后的发色剂。民用主要是处理厨房下水道的异味，到药店购买双氧水加水加洗衣粉倒进下水道可去污，消毒，杀菌。毒理性质：毒性LD5o4O6Omgkg（大鼠经皮）；LC5o2OOOmgm3,4小时（大闹吸入）。4氢氧化钾化学式KOH,分子量56.10564理化性质：白色粉末或片状固体。熔点360406C,沸点13201324°C,相对密度2.044gcm,闪点52叩，折射率n20D1.421,蒸汽压ImmHg（719）。具强碱性及腐蚀性。极易吸收空气中水分而潮解，吸收二氧化碳而成碳酸钾。溶于约0.6份热水、0.9份冷水、3份乙醇、2.5份甘油。当溶解于水、醇或用酸处理时产生大量热量。OJmoVL溶液的PH为13.5。溶于乙醉，微溶于醛。有极强的碱性和腐蚀性，其性质与烧碱相似。用途：无机工业用作生产钾盐的原料；日化工业用作制造钾肥皂、洗污肥皂、洗头软皂等的原料；制药工业用于制造黄体酮、香兰素等原料；染料工业用于制造三聚轨胺染料；电池工业用于制造碱性蓄电池；用作干燥剂、吸收剂，用于制钾肥皂、草酸及各种钾盐，还用于电镀、雕刻、石印术等；在染料工业中，用于生产还原染料，如还原蓝RSN等；在电化学工业中，用于电镀、雕刻等；在纺织工业中，用于印染、漂白和丝光，并大量用作制造人造纤维、聚酯纤维的主要原料；此外，还用于冶金加热剂和皮革脱脂等方面。毒理性质：中等毒，半数致死量（大鼠，经口）1230mgkg;刺激性：家兔经皮50mg（24h）,重度刺激；家兔经眼Img（24h）,中度刺激、5正丙醇化学式C3H7OH,分子量60.10理化性质：有乙醇气味的无色透明液体，溶于水、乙醇、乙SL熔点-127C,沸点97.1C,闪点15,相对密度（水=I）0.80,相对蒸汽密度（空气=1）2.07,饱和蒸气压1.33kPa（147C）,燃烧热2017.9kJmol,临界温度2636C,临界压力5.17MPa。用途：主要用来做燃料油的杀菌剂、农药及医药原料、香料原料，红霉素，浪丙烷，尼泊金丙脂，油漆，油墨，乙酸正丙脂等。毒理性质：急性毒性LD5o187Omgkg（大鼠经口），5040mgkg（兔经皮）；LC5o48OOOmgm3（小鼠吸入）。6乙醇胺化学式C2H7NO,分子量61.0837理化性质：常温下为无色粘稠液体带氨味，溶于水，溶液呈强碱性，能与水、乙醉和丙酮等混溶，微溶于乙醛和四氯化碳。熔点10.5C,沸点170,凝固点-5,折射率1.4540,相对密度1.0180（204C）,动力粘度（20°C）24.14mPas,闪点93.3C（用途：用于表面活性剂、石油添加剂、防腐剂、油墨制造、有机合成原料；也可用于金属清洗剂、防锈剂的原料；食品工业用加工助剂；用于制造非离子型洗涤剂、乳化剂、汽车防冻液；用于生产乙烯胺系列产品的原料。毒理性质：急性毒性一LD5o2O5Omgkg（大鼠经口），100OmgZkg（兔经皮）；LC5o212Omg/m3、4小时（大鼠吸入）；亚急性和慢性毒性大鼠吸入100200mgm36小时/日5日/周，中枢神经系统抑制，条件反射改变，兔吸入24mgm335日，中枢神经系统受到一定抑制，皮肤出现刺激现象。1.2.4生产设备本技改项目完成后企业主要设备清单见下表：表1.26本技改项目完成后企业主要生产设备序号名称型号数量单位备注1晶向定向仪DX-75台年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目生产设备2多线切割机MWS-612DD5台3双面研磨机16B-5L7Zx4超声波清洗机LSA-121台5倒角机W-GM-42503A6酸洗机CX146台7电阻炉JGMT-30、TGMT-308台8晶片上蜡机CZTL-OlA6Za9单面铜抛机NSD-4050/40364台10单面抛光机NSC-4050/40361511甩干机CT-6053台12自动Candela检查机CS20R1台13FT17平整度检查机nidek2台14晶向定向仪丹东新东方8台本次技改项目新增设备15多线切割机MB288S18台16超声波清洗机国产5台17双面研磨机22B15台18超声波清洗机国产6台19倒角机东精精密WGM-425014台20酸洗机辰轩14台21旋干机立式甩干机11台22高温退火炉/31台23超声波清洗机无锡雷士8台24甩干机卧式甩干机4台25自动分选机BOW分选机8台26超声波清洗机辰轩6台27甩干机卧式5台28自动贴蜡机辰轩（自动）485/36012台29铜抛机50G22台30自动去蜡清洗机/5台31化抛机NTS-50G22台32自动清洗机/6台33甩干机卧式4台34超声波清洗机/5台35甩干机卧式6台36自动晶片刷洗机/29台项目设备和产能匹配符合性分析:根据企业提供的资料和工艺流程、物料平衡分析，项目主要设备和产能匹配性分析情况见表1.2-6。由此可知，本项目各道工序所需工作时间分别为：定向切割7020h/a、切割后清洗432h/a、双面研磨6672h/a、研磨后清洗2778h/a、倒角7152h/a、倒角后清洗4762h/a、退货前清洗3576h/a、退火4301h/a、贴蜡6960h/a、铜抛2899h/a、化抛6060h/a、中间清洗4630h/a、抛光液清洗3556ha、酸碱清洗2857ha0由此可知，本项目各生产设备均能满足申报产能需求。表L27项目主要设备和产能匹配性分析一览表产品设备名称神每批次时间（三）日最林次每批次产量（片）年最大产量（片）本项目批次本项目时间（h）4寸片产品定向切割多线切割机18216004190410400011707020切割后清洗超声波清洗水槽5600144316682560002532432双面研磨双面研磨机1572001280432000033346672研磨后清洗超声波清洗机66001444010368000166672778倒角倒角机1436002440403200071437152倒角后清洗及甩干倒角机自带14601440160480002857154762退火前清洗酸碱清洗机718004840403200071433576退火电阻炉3172000172066960001794301贴蜡晶片上蜡机12750115104140000333336960铜抛单面铜抛机2224003640993600043482899化抛单面抛光机2248001840475200045456060中间清洗自动清洗机612724862208138894630抛光液清洗抛光液清洗机5800108508100000160003556酸碱清洗酸碱清洗机7900965010080000114292857浙江环耀环境建设有限公司电话:0571-881061571.2.4 项目工程组成本项目工程组成主要包括主体工程、辅助生产设施、公用工程、环保工程和储运设施组成，具体见下表。表L28技改项目主要建设工程内容及组成序号组成主要内容备注主体工程1切割间主要安装8台晶向定向仪、18台多线切割机及清洗机。依托现有1#厂房一层车间，设备新增。2倒角间主要安装14台倒角机。3研磨间主要安装15台双面研磨机及清洗机。4退火间主要安装31台退火炉及酸洗机。5贴蜡间主要安装12台晶片上蜡机及清洗机。6铜抛间主要安装22台单面铜抛机及清洗机。7化抛间主要安装22台单面抛光机及清洗机。8化学品试剂间主要存放各类化学试剂。公用工程及辅助工程7给排水系统生产用水和生活用水全部来自市政自来水网；空调循环冷却水由闭式冷却塔供给，可满足要求使用。设有1台闭式冷却塔，配2台280m3h冷却循环泵，一开一备。配一套IOUh的纯水设备，纯水与浓水产生比例为3:1。排水采用雨污分流制。雨水排入市政雨水管网，进入金华江；生产废水经有效收集后，进入公司废水处理站处理达标后，纳入金华市秋滨污水处理厂进一步处理后排放。依托现有8配电系统本项目供电依托厂区现有供电系统。本项目配套变压器I250KVA,可以满足生产需求。9空调系统项目配套建设中央空调系统，为各生产车间提供恒温保证。中央空调系统配套水冷螺杆冷水机组(RSW-300-2)和力聚预混热水机组(YHZRQ-45NW)0夏天温度较高，以冷水机组工作为主，冬天温度较低，以热水机组工作为主；热水机组使用天然气炉加热。10供汽项目天然气依托工业园区天然气管道提供。预计年用天燃气量5万n?。依托现有Il环保工程项目酸雾废气收集后依托厂区原有的碱喷淋塔处理，尾气引至25m高排气筒排放；车间洁净系统废气通过排风机引至15m高排气筒排放；企业对厂区内现有的60mVd的污水处理站进行升级改造，采酸雾喷淋塔、车间排风系统、危废仓库均用中和沉淀-水解酸化-氧化-MBR处理工艺，经改造完成后可达到150m3d的处理能力，可满足本项目需求；员工生活污水经沼气净化池处理后外排至市政污水管网：危险废物收集后，在厂内设临时贮存设施，按照相关标准进行设计；生活垃圾收集后统一由环卫部门进行处置。依托现有。污水处理站经改造后满足本项目需求。12服务工程本项目不包括食堂、宿舍等服务工程的内容/13应急系统企业已建有一座容积约22（）m3的事故应急池，可满足本项目需求。依托现有1.2.5建设地点、平面布置及主要建设内容本项目位于浙江省金华市婺城区南二环西路2688号，项目所在地地理位置图见附图1。项目所在地四周情况介绍见下表，具体周边环境示意图见附图2。表1.27本项目所在地四周情况介绍序号厂界方向距离内容1东侧紧邻浙江东晶电子股份有限公司2南侧隔路隔二环南路为农田3西侧紧邻浙江巴斯曼机械有限公司4北侧紧邻浙江派尼尔科技股份有限公司本项目位于浙江省金华市婺城区南二环西路2688号，项目占地面积40180平方米，总建筑面积19542.7平方米。浙江博蓝特半导体科技股份有限公司共有2幢生产厂房（1#标准厂房、3#标准厂房），厂区出入口位于南侧紧邻二环南路。厂区由南向北依次为闲置空地、1#标准厂房、3#标准厂房，厂区西侧设有污水处理站和危废暂存间，厂区内不设食堂宿舍。企业3#标准厂房出租给其他企业。根据企业规划，公司年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目和年产96万片PSS基AlN薄膜蓝宝石衬底技改项目生产线拟不再实施，企业厂区内（1#标准厂房）仅保留年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目和本次技改项目。为方便生产和管理，企业拟将年产192万片蓝宝石衬底片生产线和本次技改项目生产线整合，根据工序依次布置在1#标准厂房内。根据车间平面布置图，公司1#标准厂房一层为车间，二层为仓库和办公室。一层北侧车间由西至东依次布置有切割车间、研磨车间、铜抛车间、化抛车间；一层南侧车间由西至东依次布置有倒角车间、贴蜡车间、清洗车间等。项目生产车间布置使得生产流程合理衔接，物料搬运流畅便捷，便于企业生产和管理。车间平面布置图见附图3o1.2.7 劳动定员及生产班制本次技改项目拟需员工约150人，企业原有劳动定员250人，其中192万片蓝宝石衬底片项目配备员工150人，因此本次技改项目需新增员工50人。技改项目工作实行三班制，每班8小时制,预计年工作300%厂内不提供住宿和食堂。1.3与本项目有关的原有污染情况及主要环境问题1.3.1 原有项目基本情况1、企业概况浙江东晶博蓝特光电有限公司成立于2012年10月，于2018年5月更名为浙江博蓝特半导体科技股份有限公司，企业注册资金11180万元，法定代表人徐良，是一家年轻的发展中LED企业。公司2015年被评选为金华市高新技术企业，拥有专利十余项，全球知名SEMlChinaHB-LED委员会核心委员1名，每年研发经费5%以上，硕士以上学历研发人员占比10%。公司地址位于金华市南二环西路2688号，厂区占地面积40180平方米，建筑面积19542.7平方米。公司主要从事不同尺寸的LED图形化蓝宝石衬底片和外延片的研发、设计、生产、销售等，是一家集产、供、销为一体的现代化LED芯片企业。企业年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目环境影响报告书于2014年7月24日通过金华市环保局审批（金环建2014100号），并于2015年7月通过环境保护设施竣工验收（金环开验20159号）；企业年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目环境影响报告书于2017年10月16日通过金华市环保局审批（金环建开201775号），并于2018年6月7日通过了专家组环保“三同时”竣工验收；企业年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目环境影响报告书于2017年10月16日通过金华市环保局审批（金环建开201776号）,并于2018年6月7日通过了专家组环保“三同时，竣工验收。根据企业提供资料，公司年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目和年产96万片PSS基AlN薄膜蓝宝石衬底技改项目生产线拟不再实施，企业厂区内仅保留年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目。本环评根据原有项目环评报告、批复文件及环保“三同时”竣工验收相关内容进行分析。2、原有项目产品生产规模原有项目产品方案见下表：表1.3-1原有项目产品方案汇总表序号项目名称类别审批文号审批时间验收情况实施情况1年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目报告书金环建2014100号2014.7.24金环开验20159号已实施，拟整体搬迁2年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目报告书金环建开2017175号2018.6.7已通过专家组环保“三同时”竣工验收已实施3年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目报告书金环建开201776号2018.6.7已通过专家组环保“三同时”竣工验收己实施，拟整体搬迁3、原有项目总平面布置企业原有项目位于金华经济技术开发区二环南路2688号，在浙江博蓝特半导体科技股份有限公司1#标准厂房内组织生产，该厂房为一幢2层建筑，一层主要布置生产车间和公共设施，二层为仓库和办公室，生产废水处理设施布置于厂房西南侧空地，不包括宿舍、食堂等服务内容。该厂房南侧为企业厂区内空地，东侧为东晶电子的2#厂房，西侧隔过道和围墙为巴斯曼机械厂区，北侧为企业的3#厂房。现有年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目和年产96万片PSS基AlN薄膜蓝宝石衬底技改项目位于南侧厂房一层，布置有原料缓冲间、光刻间、清洗间、干法刻蚀间、化学品试剂间、冷水机房、热水机房以及空调机房等辅助间等。年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目位于北侧厂房一层，布置有切割间、倒角间、研磨间、退火间、贴蜡间、铜抛间、化抛间、化学品试剂间及空调机房等辅助间等。企业生产车间为百万级净化车间，整个车间在生产过程中处于封闭状态，通过引风机抽风，使整个车间始终处于微负压状态。生产区西侧设有换鞋间和更衣室；生产区一侧设有洁净走廊，通过洁净走廊的设置，可以在不进入车间的前提下观察内部生产情况；南侧车间东侧设有工具间、特气间和甲类化学品试剂间等辅助车间。具体生产车间布置见车间平面布置图。4、原有项目所需原辅材料根据原环评报告，原有项目原辅材料消耗见下表：表1.3-2原有项目产品方案，匚总表序号原辅材料名称单位年耗量包装形式备注年产60万片PSS高光效图形蓝宝石衬底项目原辅材料消耗汇总1蓝宝石片600000(2.It)/3.5g片，主要成分为AI2O32硫酸升26500(48.76()4L塑料桶98%3双氧水升8750(9.888t)4L塑料桶30%4光刻胶升1000(1.018t)4L/塑料桶AZG×R601,主要成分包括线形酚醛树脂、感光剂（5-硝基荒）、溶剂（环己酮）5去边剂升1540(1.355t)4L/塑料桶AZ7030,主要成分为PGME/PGMEA混合物（即为丙二醇甲醛和丙二醇甲醛醋酸酯的混合物）6显影液升7500(7.508t)20L/塑料桶AZ300MZF,主要成分为TMAH水溶液（四甲基氢氧化钱水溶液2.38%）7三氯化硼公斤60050kg钢瓶/8氮气公斤30050kg钢瓶/9水吨35260/10电万度101/年产192万片高精度即开即用蓝宝石衬底片技改项目原辅材料消耗汇总12时品棒亳米1250000(8831.25kg)/24时晶棒毫米400000(11304kg)/3切削液升2500(2500kg)200L/桶切割4碳化硼公斤3287025kg袋研磨5清洗剂BL1500升7560(7560kg)20L/桶清洗6液体蜡升1875(1406.25kg)2L/桶贴蜡7钻石液升4900(4410kg)500mLM铜抛8抛光液升205200(256500kg)20L/桶化抛9氢氧化钾升18846(27436.01kg)5L/塑料桶清洗10双氧水升116()(1287kg)4L/塑料桶清洗11硫酸升2320(4245.6kg)4L/塑料桶清洗12磷酸升1900(3211kg)4L/塑料桶清洗13钻石切割线米95(X)(X)0(950kg)/14研磨砂公斤40000/15抛光布垫张300(150kg)/16无蜡吸附垫张3600(360kg)/17水吨22400/18电万度100/年产96万片PSS基AIN薄膜蓝宝石衬底技改项目原辅材料消耗汇总14英寸蓝宝石平片万片100(18369kg)/全工段2光刻